等離子清洗機的使用優勢
• 帶觸摸屏的PLC控制器提供了直觀圖形界面和實時工藝呈現。
• 無論是直接等離子,還是下游等離子模式,彈性架板結構都可以應對各種不同的樣品載具。
•射頻發生器有自動阻抗調諧,實現了成熟的工藝再現性。
• 專有的軟件控制系統生成工藝和生產數據用于統計制成控制。
• 批處理類型,每一個單元都包含在機器內部,只需要較小的占地面積。
• 泵、腔體、電子控制、射頻源都被封裝在一個箱體內。
等離子體和固體、液體或氣體一樣,是物質的一種狀態,也叫做物質的第四態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的"活性"組分包括:離子、電子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等目的。