產品功能
ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀,主要用于微位移部件的測量、角度變化量的監測、移動平臺運動情況的檢測、光刻機幾何量的測量、數控機床幾何量的測量等,zui多可實現六軸聯動。也可通過位移+偏擺+俯仰的三角關系測量檢測物體的振動變化。
性能優勢 技術參數
32 Bit (實時時間)
Dt » 20 ns
應用案例
ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖