半導體設備直流電源維修 DC POWER SUPPLY

電源維修

專業維修半導體設備電源，主要有高壓電源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流電源（DC Power Supply）、射頻電源(RF Generator)、微波發生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match等專業設備維修。

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Thermo Chiller維修

溫度控制泵浦，設備冷卻系統，品牌有SMC，小松、大金等

一、RF Generator射頻電源維修和配套直流電源

1、  AE（ADVANCED ENERGY）射頻電源/直流電源

2、  MKS ENI射頻電源/直流電源

3、  DAIHEN射頻電源

4、  KYOSAN射頻電源/直流電源

5、  COMDEL射頻電源

6、  ADTEC射頻電源

7、  SEREN射頻電源

二、RF MATCH(射頻電源匹配網絡)

1、  AE（Advanced Energy）RF Match Network

2、  LAM RF Match Network

3、  AMAT RF Match Network

4、  SEREN RF MATCH NETWORK

5、  DAIHEN RF Match Network

6、  SEREN RF Match Network

三、高壓電源

1、  HiTek Power supply高壓電源

2、  ADVANCE HIVOLT高壓電源

3、  Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高壓電源

4、  GLASSMAN高壓電源

5、  SPELLMAN高壓電源

6、  Varian高壓電源

7、 其他品牌

四、直流電源

1、  LAMDBA ESS/EMI直流電源

2、  Delta ELEKTRONIKA直流電源

3、  SORENSEN直流電源

4、  AMETEK可編程電源

5、  POWER TEN直流電源

6、 燈絲電源、X射線電源

7、 曝光燈電源USHIO（Mercury lamp power supply）

五、微波電源發生器

1、  ASTeX AGL系列微波電源Microwave Generator

2、  MUEGGE Microwave Power Supply微波電源

3、  ASTeX Smart Match