POSIFA博思發PVC3000系列真空傳感器

博思發科技公司的 PVC3000 系列 MEMS 熱電堆真 空傳感器提供了突破性的真空測量解決方案。通過這 種方案，可以測量從 1mTorr(0.13Pa)到一個標準大 氣壓(760Torr，101KPa)的整個量程。很明白，皮拉 尼真空度傳感器的測量上限僅達到 30Torr。一個壓 阻式壓力傳感器無法測量低于 10Torr 的真空度。一 個昂貴的電容式壓力傳感器的測量下 限也僅有 0.1Torr。PVC3000 系列傳感器可以同時取代上述幾 種傳感器。

此外，PVC3000 擁有超快響應時間(不超過 2mSec) 和超低功耗(典型值：45mW)的特點。通過休眠的手段， 功耗還可以進一步減低。比如說，把休眠觸發設置為 10Hz，那么功耗可以減低到 5mW。

PVC3000 可以倍設計位差分結構，將一個傳感器 暴露于真空當中(作為測量單元)，同時把另一個傳感器放置于大氣環境中(作為參考單元)。這樣的差分結 構可以實現自動內部溫度補償，以及排除其他可能造成傳感器漂移的環境因素，以此達到良好的重復性和長期穩定性。

PVC3000 采用了博思發的第二代熱傳導傳感器芯片(PTCD20)，利用氣體的熱傳導率與該氣體的真空度成正比的原理設計而成。

PVC3000 系列傳感器，現在向客戶提供兩種封裝形式。PVC3001 封裝在 TO5 的金屬殼體中，PVC3004封裝在 TO46 的金屬殼體中。

特點

•量程：0.001~760 托（0.13~101K 帕）

•響應時間：小于 2 毫秒

•功耗：小于 5mW（10Hz 喚醒頻率）

•利用差分結構實現自動內部溫度補償（依賴于

實際應用電路）

•可以浸泡于溶液中清洗，延長使用壽命

應用 

• 密閉真空系統的泄漏檢驗

•真空包裝機

•便捷式數字真空計

**條件 

•工作溫度：-25~85℃ 

•存儲溫度：-40~90℃ 

•機械沖擊：100g 峰值（5 次跌落，3 軸）