精密在線輪廓檢測系統,輪廓檢測系統,在線檢測系統
激光位移傳感器 (2D)
輪廓/截面
瞬間測量/判定截面
可在特定的范圍內實時測量截面面積。這樣便可以對輪廓和截面進行質量控制。
角度/交點/位置
自動計算角度/交點
可根據表面輪廓實時測量/判定角度、交點及邊緣位置。
寬度/間隙
透過特定測量模式測量寬度/間隙
根據表面輪廓測量寬度及間隙。在進行高精度測量的同時不受目標物顏色的影響。
高度/變形
在特定的范圍內多點測量高度
可測量平均高度、zui大高度及zui小高度。透過計算特定點的高度可測出變形或膨脹度。
分辨率:zui高0.05um
測量速度:zui高9400Hz
探頭線性度:zui高0.5um
掃描速率:zui高1120m/min