定制產(chǎn)品“平行光曝光機”

目標尺寸是*大為 150 x 150 玻璃的高強度曝光設備。

“平行光曝光機”采用高精度平行光源和精密載物臺對玻璃基板進行曝光，通過分體式幻燈片掩?？蓪崿F(xiàn)手動8分多面曝光。
目標尺寸是*大為 150 x 150 玻璃的高強度曝光設備。

[特點]
○ 操作單元可選擇開關式和觸摸屏式
○ 曝光間隙設置在 0 到 300 μm 之間
○ 可更換口罩支架，支持*大 6 英寸的口罩

○ 玻璃尺寸：150mm × 150mm (MAX) × 0.5 ～ 1mmt * 因規(guī)格而異
○ 外露面照度：超高壓水銀燈2kW、40mW/cm2以上
○ 光線平行度：準直半角2.0°、偏角0.5 ° 以內(nèi)
○ 間隙設置分辨率：0 至 300 μm，± 2 μm
○ 公用事業(yè)：AC200V 50 / 60Hz，空氣 0.5Mpa
○ 燈室排氣：5m2 / min
○ 外形尺寸：（W）1100 ×（D）1290mm ×（H ) 2175mm *可能會根據(jù)規(guī)格進行更改。
* 以上項目可根據(jù)所需規(guī)格進行更改。