硅藍寶石壓力傳感器主要用于制造變送器。其中包括壓力、表壓、差壓、流量變送器,也用于控制和調節系統,廣泛用于礦山、采煉油、供水、供氣、汽車、飛機、航天等領域。
原理是基于硅的應變電阻效應。在藍寶石襯底上硅敏感元件構成靈敏的應變計電路由4個有效的敏感應變計的惠斯登電橋。藍寶石膜片與高彈性合金膜片固封為一體,流體壓力作用于這種一體的雙膜結構使電阻應變計變化,并將這種變化轉換為電信號。采用微電子加工方法做成的這種雙膜結構,便于保證重復性和可靠性(壓力不泄漏)。藍寶石膜片與金屬膜片是在高真空下,用靜電或其它分子鍵合方法封接為一體的,保證了在很寬的溫區內具有很小的機械滯后(0.05%)和使傳感器具有*穩定性(在大信號輸出情況下<0.1%/6個月)。