產品介紹INTRODUCTION
- SIMS 工作站(SIMS Workstation-a complete SIMS Analysis Facility) ,綜合UHV / SIMS 設備,進行高級的表面分析。可靠的、普遍適用的SIMS分析工作站。
- 整合的離子源,便于RGA和SNMS
- 各類型樣品的快速轉向
- 陰、陽離子、中性粒子、自由基的質量、能量分析儀
- 整合的離子槍光柵控制和信號選通,進行深度分析
- 絕緣體研究中的電子流槍用于電荷中和
- 液氮冷井和真空室烘烤加熱器
- 自動的SIMS 離子光學透鏡調諧和質量數列表,使SIMS性能
- Hiden EQS SIMS 分析儀,運行于 MASsoft O/S 之下,檢測限至ppb級
- 基本的激發源選擇: 帶差式泵的Hiden IG20 Ion,IFG200 FAB或高性能液態鎵槍
- 快速樣品傳遞,樣品固定,負載鎖定的操縱器
- 4 軸:X, Y, Z, θ UHV 操縱器,以定位樣品
- 加上ESM LabVIEW和SIMS 成像程序,進行SIMS元素成像
- 靜態SIMS譜圖庫可用