工藝流程:
進料口自動上料-載板讀碼-等離子清洗-出料口自動下料/緩存。
應用領域:
適用于各類攝像頭模組,晶圓片的精密清洗。
設備特點:
•本設備適用于與客戶上下工站連線生產和本設備自動上下料單獨生產兩種方式;
•設備機架、外殼均采用雙鏡面SUS304不銹鋼鈑金,滿足百級車間要求;
•設備操作高度為950mm,腳杯調節高度為950±50mm;
•清洗機由輸送軌道、讀碼組件(預留MES系統對接)、等離子清洗組件、緩存橫組組成;
工藝流程:
進料口自動上料-載板讀碼-等離子清洗-出料口自動下料/緩存。
應用領域:
適用于各類攝像頭模組,晶圓片的精密清洗。
設備特點:
•本設備適用于與客戶上下工站連線生產和本設備自動上下料單獨生產兩種方式;
•設備機架、外殼均采用雙鏡面SUS304不銹鋼鈑金,滿足百級車間要求;
•設備操作高度為950mm,腳杯調節高度為950±50mm;
•清洗機由輸送軌道、讀碼組件(預留MES系統對接)、等離子清洗組件、緩存橫組組成;
技術參數: