廠家:ThermoFisher
特點(diǎn):
MAXray 的掃描范圍為 90 eV 至 10 keV
可以在場發(fā)射掃描電鏡上使用
為了達(dá)到聚焦,所有的衍射晶體都是平面的,不會因像差而降低信號強(qiáng)度
由于 MAXray使X射線轉(zhuǎn)變?yōu)槠叫泄馐?span lang="EN-US">, 它和樣品與衍射晶體之間的距離無關(guān),因?yàn)闆]有距離L1,所以也不會降低強(qiáng)度
MAXray對輕元素的靈敏度又比傳統(tǒng)的 WDS高數(shù)十倍以上