產品詳細介紹 | |
檢測對象氣體:半導體材料氣體(胂、膦、、硅烷、氫氣等)。 | |
產品功能描述 | |
檢測氣體 | 半導體材料氣體(胂、膦、、硅烷、氫氣等) |
檢測原理 | 熱線型半導體式 |
采樣方式 | 自動吸引式 |
可檢測濃度 | |
胂 | 0.2 |
膦 | 0.3 |
硼乙烷 | 0.1 |
硅烷 | 0.5 |
氫氣 | 1.0 |
檢測表示 | 蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍 |
應答速度 | 10秒以內 |
產品持有證書 | |
CE |
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半導體工廠氣體檢測儀 XP-703D 產品信息
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關鍵詞:指示燈