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INFICON Edge 電容膜片真空計

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具體成交價以合同協議為準

公司名稱上海森懋機械設備有限公司
品牌
型號
所在地
廠商性質其他
更新時間2022/11/2 13:00:26
訪問次數208

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公司介紹主營產品

上海森懋機械設備有限公司位于中國上海普陀區的上海森懋機械設備有限公司創建于2001年，本公司主要是一家以生產和銷售各種檢漏儀、真空計、真空泵、冷媒充注機及氦氣回收系統。公司一直堅持品質嚴格、信譽至上的原則，為廣大客戶提供高品質的產品以及專業的售后服務。我們始終秉承誠實守信的經營理念，顧客至上的服務理念，不斷創新、爭做制冷行業及相關企業的。公司主要經營的品牌有：德國英福康INFICON檢漏儀，日本愛發科ULVAC真空系統，德國萊寶真空設備等。隨著國內經濟的迅速發張，為了滿足國內市場需求，公司也在不斷的創新產品，提高服務質量。目前我司吸收技術自行研發生產制冷劑加注機、常態下檢漏系統、氦氣檢漏系統等，極大解決了制冷企業在研發、生產過程中的成本浪費，檢漏效果不佳以及環境污染等問題。在滿足客戶高品質要求的同時，既為企業創造的利潤又保證企業產品的品質。本公司產品被西門子、格力、三星、海爾、松下、大金、富士通將軍、大眾、長安汽車等國內主要的生廠產家采購使用。借此本公司將以雄厚的經濟實力為后盾，*的技術力量為指導，科學的管理制度為方針，高品質的產品質量為根本，誠心誠意為您服務。

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益處設計緊湊

INFICON Edge 電容膜片真空計產品信息

益處

設計緊湊，節省寶貴的工具空間
易于集成，EtherCAT，各種滿刻度和法蘭，標配兩個設定點
輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移
診斷端口用于快速維修和維護
兩年保修服務，優良的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
優良的信號穩定性和可重復性
合規性與標準：CE

典型應用

用于 CVD、刻蝕、PVD 和其他半導體制造過程

規格

類型		1000 Torr, 1100 mbar	500 ... 1 Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0.15	0.15
溫度效應
零點	percent FS/°C	0.0025	0.0025
滿量程	% of reading / °C	0.01	0.01
壓力，更大	kPa (absolute)	400	260
分辨率	percent FS	0.003	0.003
更低讀數	percent FS	0.01	0.01
建議的更低讀數	percent FS	0.05	0.05
建議的更低控制壓力	percent FS	0.5	0.5
溫度
運行（環境）	°C	+10 … +40	+10 … +40
在法蘭處烘烤	°C	≤110	≤110
貯存	°C	–20 … +65	–20 … +65
電源電壓		+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗
加熱時	W	≤12	≤12
運行溫度	W	≤8	≤8
輸出信號（模擬）	V (dc)	0 … +10	0 … +10
反應時間 (2)	ms	30	30
保護等級		IP 40	IP 40
標準
CE 合規		EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認證		UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 合規		SEMI S2	SEMI S2
電氣連接		D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male
設定點
設定點數量		2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)

繼電器觸點		≤30	≤30
滯后	percent FS	1	1
診斷端口
協議		RS232-C	RS232-C
讀數		pressure, status, ID	pressure, status, ID
設置		set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))	Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
內部容積
內部容積 1/2'' 管	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內部容積 DN 16 ISO KF	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內部容積 DN 16 CF-R	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內部容積 8 VCR®	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
重量
重量 1/2'' 管	g	837	837
重量 DN 16 ISO KF	g	852	852
重量 DN 16 CF-R	g	875	875
重量 8 VCR®	g	897	897

EtherCAT
協議 EtherCAT		protocol specialized for EtherCAT	protocol specialized for EtherCAT
通訊標準		ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"	ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
數據率	Kbps	100000	100000
節點地址		Explicit Device Identification	Explicit Device Identification
物理層		100BASE-Tx (IEEE 802.3)	100BASE-Tx (IEEE 802.3)
數字功能讀取		pressure, status, ID	pressure, status, ID
數字功能設置		set points, filter, zero adjust, reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
過程數據		Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping	Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
郵箱 (CoE)		SDO requests, responses and information	SDO requests, responses and information
EtherCAT 連接器		RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT	RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜		shielded Ethernet CAT5e or higher	shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長度	m (ft.)	≤100 (330)	≤100 (330)