益處
- 擁有成本更低,預熱速度快 50%,節能,低功耗
- 易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標配兩個設定點
- 輕松一鍵調零或遠程信號調零指令,可調零點偏移
- 診斷端口用于快速維修和維護
- 兩年保修服務,的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
- 的信號穩定性和可重復性,即使是的等離子應用,都無需長期執行重新校準
- 合規性與標準: CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應用
- 用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導體制造過程
- 化學和腐蝕性高溫過程
- 需要真空計保護的一般薄膜和真空過程
規格
類型 | 1000 ... 500 Torr / mbar | 200 ... 1 Torr / mbar | 0.5 ... 0.1 Torr / mbar | |
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精度 (1) | % of reading | 0.2 | 0.2 | 0.4 |
溫度效應 | ||||
零點 | percent FS/°C | 0.0025 | 0.0025 | 0.005 |
滿量程 | % of reading / °C | 0.02 | 0.02 | 0.02 |
壓力, | kPa (absolute) | 400 | 260 | 130 |
分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
讀數 | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
建議的讀數 | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
建議的控制壓力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
溫度 | ||||
運行(周圍環境)(5) | °C | +10 … +50 | ||
在法蘭處烘烤 | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
貯存 | °C | –20 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 |
電源電壓 | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | |
功耗 | ||||
加熱時 | W | ≤20 | ≤15 | ≤15 |
運行溫度 | W | ≤14 | ≤10 | ≤10 |
輸出信號(模擬) | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
反應時間 (2) | ms | 30 | 30 | 130 / 30 (3) |
保護等級 | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |
標準 | ||||
CE 合規 | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | |
ETL 認證 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | |
SEMI 合規 (5) | SEMI S2 | |||
加熱式 100~200℃ 電容式膜片真空計 |