光伏行業硅片清洗又被稱為制絨,是通過化學品腐蝕硅片表面,使其受光面積增大,反射率降低的一種技術。硅片酸洗后需要水沖洗--烘干,轉換成氧化膜;根據氧化膜的親水性原理,利用接觸角來測試水滴的大小,來判定氧化膜的是否達到要求:
接觸角測試儀的原理:液滴在固體的表面達到平衡時,在氣、液、固三相交界處,氣液界面和液固界面之間的夾角稱為接觸角
根據原理,表面張力越大(即親水性),水滴在固體表面形成的夾角越小;表面張力越小,水滴在固體表面形成的夾角越大;由此,該水滴角應用于硅片清洗后的氧化膜效果判定上;
水滴與氧化膜接觸,角度越小代表氧化膜親水越好,氧化膜的質量越好;
為了提供測試效率及驗證概率問題,在測試硅片時,會采取多點測試五點測試(四邊一中)
全自動接觸角測試,設定參考值,自動判定結果,并且由數據全程記錄。