AIGX離子真空計

壓力范圍

6.6 x 10^-2 至 6.6 x 10^-10 mbar

（5 x 10^-2 至 5 x 10^-10 Torr）

電源供給

+14.5 至 +30.0 V 直流

功耗

正常工作：7W，

脫氣：14W

輸出信號

線性，1 V / decade

響應時間

1.33 x 10^-8 mbar

(>10^-8 Torr) ? 100 ms

1.33 x 10^-8 mbar

(<10^-8 Torr) ? 1-2 s

電壓

30 V（直流）

電流

100 mA

工作環境

干燥的非導電性大氣

溫度范圍

工作溫度

0 至 +40 °C

存儲溫度

-30 至 +70 °C