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一、前言 本儀器應用真空中熱傳導與真空度有關的原理測量真空。采用美國AD公司16位高速數據采集系統及高穩定微處理機監控新型線路，適用于1.0E5—5.0E-2Pa 范圍內的真空測量和控制，采用ZJ-52金屬電阻規管（國外稱皮拉尼規），在機械泵測試、化工原料真空勾兌、真空冶煉、真空浸漬、空調冰箱生產線等工業和科研部門有廣泛應用。 二、主要技術指標 1.真空度測量范圍: 1.0E5（99999pa）—5.0E-2（0.05pa） 2.測量信號電壓(電流)輸出: 0—5V 、1—5V、4—20mA 3.數字信號輸出：RS485/RS232半雙工串行/ASCⅡ/波特率9600bps 4.數字顯示單位: Torr、Pa、mbar(符合中國、日本、美國、歐洲使用要求) 5.控制繼電器輸出: 2個(每個均可獨立設置上下限)；E2ROM閃存; 觸點容量220V/3A。 6.規管斷絲、規管電纜斷報警燈指示。規管長電纜自動補償（可達200米）。 7.設置有softlocker密碼鎖功能，防止數據被非者修改(本機密碼15) 8.工作電源: 交流電，85-265VAC/50-60Hz; 9.外形尺寸: （寬X高X深mm）96X96X145 10. 開孔尺寸: （寬X高mm） 92X92 11.顯示方式：測量顯示窗0.5吋高亮數碼管；*.*E*科學記數法顯示或直讀法顯示（儀器功能菜單中 用戶自行可選）。 12.真空與時間的實時測試記錄打印采樣軟件。 13.儀表前面板： 1、輸出繼電器上下限設定指示燈；2、繼電器輸出指示燈；3、測量數據顯示窗；4、Torr/Pa/mbar測量單位指示燈；5、按鍵；6（ATM）滿度（大氣）調整電位器；7、（ZERO）高真空時零位調整電位器 8、(FAULT) 規管斷絲報警燈；9、電源開關 三、使用方法：(只需測量帶繼電器控制功能的，不需要匹配電腦的用戶僅閱讀以下A項即可) A、基本測量： 1、將ZJ-52（或ZJ-52K）電阻規，按真空連接要求接入真空設備,將真空設備密封好（在規管前建議加一只閥門，平時不工作時關閉閥門，保持規管處于真空狀態，可延長規管使用壽命）用規管線將規管和儀表連接。 2、插入AC220V電源，打開儀表電源開關，即進入儀表顯示狀態，儀器顯示窗顯示的即為真空測量值，穩定10分鐘后在大氣壓狀態用螺絲刀調前面板“ATM”孔電位器調整滿度（即大氣壓atmosphere的縮寫），使顯示為9.9E4Pa（或9.9E2mbar或7.6E2Torr）。順時針調大，反時針調小，(多圈電位器有20圈可調)。顯示1.0E5Pa（或1.0E3mbar或7.7E2Torr）則為調過頭。調到9.9E4Pa-1.0E5Pa（或9.9E2mbar-1.0E3mbar或7.6E2Torr-7.7E2Torr）臨界點為好。 3、開啟真空設備的抽氣泵即能測量出真空度的變化。 注：[若要調整儀表的零點，可將真空系統用擴散泵或分子泵抽至1.0E-2Pa（或1.0E-4mbar或1.0E-4Torr）以上，穩定10分鐘后用螺絲刀調整面板“ZERO”孔零點電位器，使顯示5.0E-2Pa（或5.0E-4mbar或5.0E-4Torr）。順時針調大，反時針調小，(多圈電位器有20圈可調)，顯示1.0E-2Pa（或1.0E-4mbar或1.0E-4Torr）則為調過頭。]。 4、讀數方法：本儀表有直讀法和冪次方顯示二種顯示法（用戶可在儀表上自己設置），舉例：直讀法365Pa=冪次方3.6E2Pa=3.6x10的2次方 Pa ；直讀法6.4Pa=冪次方6.4E0Pa；直讀法0.15Pa=冪次方1.5E-1Pa。 5、若用戶真空上不去，可觀測到真空泵的排氣口上有淡淡的青煙和真空泵發出的咯咯的不規則響聲，切斷真空泵后面的容器后，如果仍然有這聲音，就說明這臺真空泵質量有問題了。真空系統如果是玻璃的，可直接購買一個我公司生產的高頻電火花真空檢漏儀，是金屬系統的，較省錢的方法就是往密閉的真空系統里打壓2公斤的壓力，在焊接的部分涂上濃濃的肥皂水，冒泡了，漏點就等于被你檢查出來了；當然還有鹵素檢漏儀和氦質譜檢漏儀等等。 B、儀表的設置： 功能設定： ZDJ-8型/DZA1型電阻真空計按鍵功能操作表 （面板上SET、△、▽、↙四個鍵） 序號按鍵顯示狀態用戶操作(注：按↙回車鍵后，輸入的數據將得到保存) 1、SET數顯窗顯LOC□□，密碼方格閃動 用△和▽鍵輸入密碼15(若密碼不正確則只能查看） 2、↙Un1，Torr、Pa、mbar單位制燈閃動用△和▽鍵選所需單位制燈亮 3、↙L和J1燈亮，數顯窗數字閃動用△和▽鍵輸入J1繼電器下限值 4、↙H和J1燈亮，數顯窗數字閃動用△和▽鍵輸入J1繼電器上限值 5、↙L和J2燈亮，數顯窗數字閃動用△和▽鍵輸入J2繼電器下限值 6、↙H和J2燈亮，數顯窗數字閃動用△和▽鍵輸入J2繼電器上限值 7、↙數顯窗顯cod□□，通訊地址碼閃動 用△和▽鍵輸入所需RS485通訊地址碼 8、↙數顯窗顯Dis □，顯示模式碼閃動 用△和▽鍵輸入0為直讀、1為冪次方顯示 9、↙數顯窗恢復顯示真空計測量數據 即使用戶不斷按↙鍵，數顯窗均顯示測量數據 設置操作注意：1）、儀表在設置態若超過30秒不操作鍵，則30秒后儀表自動恢復測量態。2）、繼電器上限設定值必須≥下限設定值,否則儀表自動強制更正。3)單擊△和▽鍵，數字單個升降；雙擊△和▽鍵，數字連續升降；雙擊△鍵后可按▽鍵停止，反之亦然。 C、輸出控制繼電器使用注意點： 1）、輸出控制繼電器理論上可以接AC220V/3A阻性負載或AC220V/1A感性負載，但建議用戶用中間繼電器過渡，這樣的好處是萬一發生故障只燒中間繼電器保護了真空計內繼電器的安全（注意：繼電器每組輸出觸點上并有0.01微法的滅弧電容,當接交流負載時可能會有幾毫安的漏電流,但接直流負載時不會有影響）。 2）、每路輸出繼電器的上限設定必須≥下限設定，當上限設定大于下限設定時，控制輸出有一個回差，即當測量值低于繼電器下限設定時，繼電器得電，常開觸點接通，常閉觸點斷開，面板上相應繼電器燈（J1或J2燈）點亮；當測量值大于繼電器上限設定時，該繼電器失電，常開觸點斷開，常閉觸點接通，面板上相應繼電器燈（J1或J2燈）滅(例:某旋片真空泵節電運行:將該泵通過中間繼電器接入本儀表J1繼電器常閉回路中,該J1的H(上限)設為50Pa,J1的L(下限)設為10Pa，則當真空泵通上電從大氣開始抽氣到達10Pa后,泵自動停止工作,當系統內真空緩慢泄漏至50Pa時真空泵又自動開始抽氣),這在控制工程中是非常有用的，可以防止在動作點附近頻繁開關電器；當上限設定=下限設定時，控制輸出沒有回差，可以用作控制工程的精確控制。本儀器軟件設計上考慮了用戶設置時可能發生的粗心，當上限設定小于下限設定時，軟件自動糾錯，強制使上限設定=下限設定）。 D、本儀表允許用戶24小時不斷電持續使用，儀表設置有watchdog看門狗電路，防止軟件的失控。 E、若規管斷絲或規管線斷則面板上“F”燈（失效Fault燈）亮，提醒用戶更換規管或修復規管線。 H、儀表和上位機（計算機）的通信(可電詢021－ )
（1）．通信協議-------（沒有配套電腦的可不用瀏覽該項內容）。 1.發送命令： 命令：%（Addr）S 2.響應：> (Addr單字節) = (data共6字節) (Unit共4字節) (CHK單字節十六進制) 3.出錯響應：? (Addr) 4.%: 25h, 命令同步碼。 5.S: 53h, 命令查設備真空值。 6.>: 3eh, 響應同步碼。 7.=: 3dh, 設備真空值等于。 8.Addr: 30h-39h，共可選擇10個設備。 9.Data: 真空值高位+2eh(小數點)+ 真空值低位+45h(E)+2bh/2dh(+/-指數符號)+ 真空指數。 10.Unit: 依次表示Torr、Pa、mbar三種單位，Pa后面跟2個空格(20h) 11.CHK:為校驗和是前13個字節累加和的低字節。 12. 13.？: 3fh, 出錯響應說明響應同步碼和設備號接收正確，但S或 13.波特率：9600bps 14.位數： 8 15.奇偶校：無 16.格式： ASCII碼 17.方式：半雙工 18.接口： RS485 19.舉例：通訊時電腦收到真空計發出的15位數據：3E 30 31 31 2E 37 45 2B 32 50 61 20 20 C9 0D,此15位數據可解讀為：響應 0#真空計 真空計中1#通道采樣數據 1 . 7 E + 2 P a 空格 空格 校驗和 回車；此時真空計上讀數為1.7E2Pa。 （2）．通信測試方法(可電詢021－)： 1.10臺以下真空計A、B端用網線并聯通過RS485/RS232轉換器(我方用捷瑞電訊MODEL2102RS485/RS232轉換器)直接與個人計算機串口連接 2.接通電阻真空計供電電源。 3.打開隨機光盤上“串行測試包”文件夾，運行setup.exe安裝程序。 4.運行“測試串口”應用程序。 5.由主界面進入“設置參數” 界面，正確選擇所用串口并確認。 6.主界面右下側的滑軌拖曳到15，“地址”復選框、“十六進制碼”復選框無效，選中“ASCⅡ碼”復選框和“4/8位地址”復選框；單擊“開始接收”按鈕。 7.在“發送內容”的文本框中選“按16進制” 8.在“發送內容”的文本框中鍵入：2530530d (十六進制) 單擊“手動發送”按鈕，在“接收回顯” 文本框中就收到0號電阻真空計的信息。 9.在“發送內容”的文本框中鍵入：2531530d (十六進制) 單擊“手動發送”按鈕，在“接收回顯” 文本框中就收到1號電阻真空計的信息。 10.其他以次類推，最多可選擇10個真空計。 11.單擊“自動發送”按鈕，在“接收回顯” 文本框中就收到每秒1幀的連續信息。 12.單擊“清除”按鈕，就清除了“接收回顯” 文本框中的內容。 本儀表RS485串行口輸出，雙絞線距離傳輸1200米，可多機(最多十臺)并聯（每臺真空計用戶須設置不同的cod）經RS485——RS232轉換器(我方選用捷瑞電訊MODEL-2102轉換器)插入筆記本電腦或臺式電腦的RS232串行口上，即可將真空計的測量數據傳送到電腦上顯示，網上下載 實驗室儀器 sys 儲存或者打印下來。 I: 本儀表0-5V輸出端口電壓（mV）-真空度（Pa）對照表 電壓（mV）真空度（Pa）電壓（mV）真空度（Pa）電壓（mV）真空度（Pa） 0 0 1373 8.0E1 4638 8.0E3 12 1.0E-1 1461 9.0E1 4716 1.2E4 24 3.4E-1 1542 1.0E2 4743 1.5E4 36 5.5E-1 2138 2.0E2 4753 1.7E4 48 8.4E-1 2519 3.0E2 4765 2.0E4 61 1.0E0 2795 4.0E2 4789 2.6E4 73 1.3E0 3010 5.0E2 4814 3.4E4 85 1.5E0 3176 6.0E2 4838 4.6E4 98 1.8E0 3321 7.0E2 4863 7.6E4 134 2.7E0 3421 8.0E2 4887 9.0E4 256 6.0E0 3528 9.0E2 4912 9.2E4 349 9.0E0 3614 1.0E3 4936 9.4E4 376 1.0E1 4100 2.0E3 4969 9.9E4 610 2.0E1 4308 2.7E3 5000 1.0E5 782 3.0E1 4415 3.6E3 928 4.0E1 4491 4.4E3 997 4.5E1 4540 5.0E3 1063 5.0E1 4577 5.7E3 1175 6.0E1 4604 6.4E3 1280 7.0E1 4623 7.2E3 * 1-5V輸出端口轉換公式：y(mV)=4x(mV)/5+1000 * 4-20mA輸出端口轉換公式：y(mA)=【4x(mV)+5000】/1250 【注：以上公式中的x（mV）填入上面0-5V輸出端口表格中的mV數。】 J、本儀表功能助記符及操作術語： Loc——soft Locker 意為密碼鎖 unI——unit 意為測量單位 J1 L——J1 Low 意為輸出繼電器下限 J1 H——J1 High 意為輸出繼電器上限 J2 L——J2 Low 意為輸出繼電器下限 J2 H——J2 High 意為輸出繼電器上限 cod—— Code 意為本機串行通信識別編碼 dis¬¬¬¬——display 意為顯示模式 SET——setpoint 意為設置點 5.2E2Pa=520Pa; 3.0E-1Pa=0.3Pa 1Torr=133.322Pa; 1Torr=1.33322mbar 一、
ZDJ-8型/DZA1型后面板輸出口腳號： 1-----------------------------------1#繼電器常開觸點 2-----------------------------------1#繼電器動觸點 3-----------------------------------1#繼電器常閉觸點 4-----------------------------------2#繼電器常開觸點 5-----------------------------------2#繼電器動觸點 6-----------------------------------2#繼電器常閉觸點 7------------------------------------空腳 8------------------------------------空腳 9------------------------------------傳感器信號測試輸出 10-----------------------------------1—5V測量信號電壓輸出 11-----------------------------------0—5V測量信號電壓輸出 12-----------------------------------1—2V測量信號電壓輸出 13-----------------------------------4—20mA測量信號電流輸出 14------------------------------------測量信號輸出地回路 15------------------------------------RS485串行異步半雙工通信輸出A端 16------------------------------------RS485串行異步半雙工通信輸出B端 五、規管外形的選型：
ZJ-52電阻規是直插式規管的，可直接插入內徑12mm的真空橡皮管或金屬真空規管接頭組件；ZJ-52K電阻規是快卸式金屬規，可用快速連接卡箍（帶中心O型像膠密封圈）連接，二種連接件的加工圖紙可致電本公司技術科索取。(電纜線請選用RVVP-4*0.3平方的四芯屏蔽電纜)
六、儀器成套性:（真空配件如卡箍、短節、不銹鋼波紋管等請致電我公司另行購買） 1. ZDJ-8/DZA1電阻真空計顯示器 一臺 2. ZJ-52 (或ZJ-52KF16)金屬電阻規 一支 3. 規管電纜1.5米（可放長到100米） 一根 4. 電源電纜 一根 5. 使用說明書 一份 6. 產品合格證 一份 7. RS485-RS232轉換口（用戶選購件） 一個 七. 故障檢測及維修 1.本儀表是絕壓式測量儀表,絕壓基準為0.01Pa,滿度一次調好后隨著儀表和規管的使用期的增長，滿度值會下降，用戶可以不用經常調整，不會影響3000Pa以下真空度的測量的準確性，為了保證在粗真空段的測量準確，建議用戶再購買一個測量U-2型的絕壓U形真空計，便于相互參照糾正偏差。 2.顯示1.0E-2Pa(1.0E-4mbar; 1.0E-4Torr)同時“F”燈亮是規管未接或規管絲斷，規管絲斷無法修理，必須重新購買。 3.測量誤差大可能是規管沾污需重新校正零點和滿度，請在0.01Pa以上高真空條件下調零點電位器。 4.測量時數字顯示上下亂跳可能是真空設備有漏氣，請檢查真空連接部分要求將真空設備密封好。 5.抽氣時間增加而真空讀數反方向變大，一般是已到該泵的極限真空（或該泵用油品質不佳，泵芯旋轉摩擦后溫度上升使油液化粘度下降，導致泵腔真空密封性能不良） 6.儀表一般不易損壞，有故障大都是規管有問題，請更換規管，建議再另外購買一支規管，顯示器免費保修二年（規管是易損件不屬保修范圍）。 警告：后面板接線樁必須按說明書要求聯接，接錯會導致儀表毀滅性的損壞。 儀器返廠修理時（一定要用泡沫填充物包扎好）用順豐快遞或門對門的快遞寄回本單位。 八、儀表功能的拓展： 1.在測量值從 （大氣壓－0.05Pa）低真空測量請選本單位的ZDJ-8型/DZA1型數顯電阻真空計（皮拉尼真空計），為了獲取較精確的真空數據建議增配壹臺U-2 U型真空計； 2.在300pa-0.1pa的真空測量請選用ZDJ-3型的數顯式熱偶真空計。 3.如果真空系統內部有濕度和溫度變化較大的話，建議選用本公司生產的PM系列的麥氏真空計或者是測量粗真空的U型真空計進行比對測量。 |
