Atonarp 過程控制質譜儀 Aston™

Atonarp 過程控制質譜儀 Aston™ 技術規格：

實時過程控制的通用工具, 耐腐蝕性氣體, 抗冷凝
半導體制造的分子分析原位平臺, 提供實時, 可操作的數據
采用等離子體電離源, 無燈絲, 更耐用
可與大批量生產工具集成
Aston™ 過程質譜分析儀作為一個強大的平臺, 可以取代多種傳統工具, 提供的控制水平, 包括光刻, 電介質和導電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配和消解.

Aston™ 過程質譜分析儀技術參數

Atonarp  Aston™ 應用: 半導體工藝過程控制和優化的重大發展, 提高半導體制造工藝的產量, 吞吐量和效率
Aston™ 是一款全新設計堅固耐用的緊湊型在線質譜儀, 適用于半導體制造和工業過程控制應用中氣體監測和控制, 高定量精度和實時性與生產穩健性和可靠性相結合, 例如半導體 dry pump 尾氣偵測分析, 實現在線監控,診斷.
CVD / ALD: 氧化物-氮化物過渡及成分分析
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching:識別跟蹤分子


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