概述
Edwards 有源倒磁控管真空計 (AIM) 在一個緊湊的有源裝置中包含規頭和控制器。從科學儀器到工業制程的多種應用場合,均已證明這些真空計堅固。
此真空計具有線性輸出,易于與計算機或 PLC 結合使用。
此真空計具有線性輸出,易于與計算機或 PLC 結合使用。
應用
- 適用于處于 1 x 10-2 to 1 x 10-9 mbar 范圍內的需要穩定的壓力指示的真空應用。典型制程包括從一般真空到工業鍍膜機和熔爐再到科學儀器和半導體等應用。
功能和優勢
- 驅動電子模塊與規頭合并在一起,降低了系統成本并節省了寶貴的機架空間
- 低輸出阻抗和集成的法拉第屏蔽提供別的抗擾性,并允許使用長電纜(長可達 100 m)
- 低磁場型 XL 適用于性應用,例如質譜分析和電子顯微鏡。
- 可更換的管體允許快速更換管件而無需預校準
- 已獲 CSA C/US 批準
- 范圍、符合標準的內部電源可使用 +13.5 到 +36 V 的標準直流電,對電壓波動有很好的承受力
- 0 到 +10 V 直流電壓的標準模擬輸出和真空計標識符允許輕松連接計算機或 PLC 和進行故障輸出指示
- 電極維修套件允許用戶進行清潔和維護
- 的放電器設計即使在高真空或污染環境下也可以快速放電
- 壓力范圍更大
數據
壓力范圍 | |
AIM-X | 10-2 至 10-9 mbar |
準確度 | 通常為 ±30% |
大過壓 | 10 bar (145 psi) |
電源供給 | +13.5 至 +36 V 直流(大 1 V 波動) |
功耗 | 2 W(大) |
輸出信號 | 2 至 10 V 直流 |
設定點 | 開路集電極晶體管 |
大電壓 | 40 V 直流 |
電流 | 100 mA(大) |
溫度范圍 | |
工作 | +5 至 +60°C |
存儲 | 0 至 +70 °C |
暴露于真空中的材料 | |
NW25 型 | 不銹鋼 304/306/347、氟橡膠、玻璃 |
內部體積 | 26 cm3 |
重量 | 0.81 kg |
外部接口連接器 | 8 路 FCC68/RJ45 插座 |
真空接頭 | NW25 |
標準 | |
電磁兼容性 | EN 61326 |
| (B 類排放) |
外殼等級 | IP40 |
準確度在測量范圍極限處會降低