Ultrapure-100包括充沛的光電系統、計數和通訊電路、一個的流速控制系統,所有的都集成在一起能滿足各種應用。例如在DI water制造廠內監控,整個系統的流速超過of 1.0 L/min,這樣結果就有非常快的清洗,恢復時間及精確的流速,甚至于動態的入口壓力.
Anatel Ultrapure-100超純水顆粒計數器是一個近似于的系統,特別易于安裝或集成到現在系統中。如FMS(facility monitoring system )或 BMS(building management system)。也可以選擇作為一個獨立的測試儀器,還有許多可用的兼容配套軟件。
Anatel Ultrapure-100超純水顆粒計數器特點:
0.1和0.2μm的標準顆粒尺寸,可在0.1和5.0μm范圍內定制
的流量控制和動態的入口壓力調節具備極快的清潔和恢復時間
高流速保證了快速的清洗時間
優秀的流量調節,一體化設計保證了低維護量
激光能量診斷,顆粒計數軟件和的可追溯NIST標準4-20mA輸出
應用:
電子半導體制造超純水系統顆粒計數檢測
性能:
測量粒徑尺寸(μm):0.1,0.2 系統流速>1L/min
樣品流速 10ml/min, 樣品壓力設置30-100psig
光源采用激光二極管