用于過程監測和優化產品品質的分析設備
德國普發真空pfeiffer vacuum 超高真空殘余氣體分析儀器PrismaPro® QMG 250 M1, 1 - 100 u, 開放式離子源, 鎢, I/O
普發真空為真空處理過程中的氣體測定提供了各種不同的分析儀。從質譜儀到復雜的分析系統,在我們這里您將會找到從超高真空范圍一直到大氣壓力的氣體分析解決方案。四極桿質譜儀 PrismaPlus/PrismaPro 是氣體分析Z基礎的設備。PrismaPlus/Pro 是一個普遍適用的質譜儀,其磁場軸技術保證了高靈敏度。它還具有高效率以及測量速度快的特點。并且 PrismaPlus/Pro 不僅僅顯示各自的分壓,同樣也可以檢測總壓力。它的界面接口使這款質譜儀可以很容易地與氣體色譜儀連接。緊湊的設計,模塊化結構和用戶友好軟件 使其成為泄漏檢測、半導體制造、玻璃鍍膜、冶金化工的理想設備。另外,在研發領域也有無數的應用。普發真空為其客戶在所有這些領域中提供量身定制的解決方案。當然,普發真空還提供所需的質譜儀配件,例如各種離子源陰極。
什么是質譜儀
質譜測量是一種可以用來測量原子和分子質量的方法。通過這種方式測量化學混合物成分的分壓來分析化合物。待分析的物質首先被轉化為氣態的聚合狀態并且發生電離。電場使離子加速,使得它們在其各自的質荷比基礎上被分類和分離。然后測定氣體各種成分的分壓。每個質譜儀包括一個離子源、一個質量過濾器和一個檢測器。根據所采用的質量過濾器來區分不同類型的質譜儀 。由于其廣泛的應用選項,四極桿質譜儀具有可靠的測量表現。這些分析設備也經常用于真空技術。
質譜儀及其應用
四極桿質譜儀具有平行排列的四根電極桿,構成了四極場。它們的交點與平面垂直于圓柱體軸線,形成一個場(因此命名為四極)。靜態電場使離子加速以后,離子飛過四極場。桿之間的四極場每次只會允許給定質量的一個粒子通過,。四極桿質譜儀提供高分辨率版本以簡易版兩種型號供用戶用作殘余氣體分析。由于其頻率范圍寬,這類質譜儀可應用于眾多領域,包括從藥理學到環境分析領域。
超高真空中的殘余氣體分析
帶有二級電子倍增器的四極桿質譜儀,為超高真空室內的氣體成分定性分析提供Z大的檢測靈敏度。
對于高真空下的殘余氣體分析,必須只檢測到極少量的氣體。普發真空殘余氣體分析儀里的二級電子倍增器因此保證了四極質量過濾器提供的小型離子電流較高的放大率。所有使用的材料都經過精心挑選,用于超高真空并能承受較高的烘烤溫度。
一些離子源可用于不同的應用,包括具有極低釋氣速率的柵網離子源。
PrismaPro® QMG 250 M1, 1-100 amu
模塊化結構的緊湊型質譜儀可適合您的使用。有以下離子源可供選擇:具有靈敏度和線性的開放式離子源,適用于殘余氣體分析和 HV 與真空范圍內分析性任務。適用于與進氣系統接合的氣密離子源。適用于直接進氣的交叉臂離子源。格柵離子源特別針對真空內殘余氣體分析,具有極低脫氣率和解吸率。
PrismaPro® QMG 250 M1, 1 - 100 u, 開放式離子源
PrismaPro 緊湊型質譜儀
針對 Windows 10/8.1/7 系統的 PV MassSpec 軟件,可用于測量數據的記錄、存儲和顯示
點擊一下即可進行泄漏檢測和真空診斷
測量方案定義簡單
指示極限低
網絡通過以太網實現
陰極 | 加熱溫度:分析儀 [攝氏度] | 連接 | E/A 接口 | 訂單號 |
---|---|---|---|---|
鎢 | 300 | 0° | PT M16 111 210 | |
鎢 | 300 | 0° | PT M16 111 211 | |
釔銥 | 300 | 0° | PT M16 112 210 | |
釔銥 | 300 | 0° | PT M16 112 211 |
PrismaPro® QMG 250 M1, 1 - 100 u, 開放式離子源, 鎢, I/O 選項: 標準
針對 Windows 10/8.1/7 系統的 PV MassSpec 軟件,可用于測量數據的記錄、存儲和顯示
點擊一下即可進行泄漏檢測和真空診斷
測量方案定義簡單
指示極限低
供應: 電壓 | 100 – 240 V AC |
分辨率,10% 峰值高度時可調節 | 0.5 - 2.5 u |
加熱溫度:分析儀 | 300 攝氏度 |
安裝方向 | 任意 |
對 Ar 的靈敏度:法拉第 | 5 · 10-4 A/hPa |
對于相鄰物體的輸入:40 比 41 | 10 百萬分率 |
峰值比的可再現性 | 0.5 % |
工作溫度:分析儀 | 150 攝氏度 |
工作溫度:電氣設備 | 5 – 50 攝氏度 |
探測器 | C-SEM/Faraday |
接口 | Ethernet |
Z大工作壓力:C-SEM | 5 · 10-5 百帕 |
Z大工作壓力:法拉第 | 5 · 10-4 百帕 |
桿系統:直徑 | 6 毫米 |
桿系統:長度 | 125 毫米 |
檢測極限:C-SEM (hPa) | 3 · 10-15 百帕 |
溫度:儲存 | -25 – 70 攝氏度 |
離子源 | 開,2 陰極 |
繼電器:數量 | 1 件 |
質量范圍 | 1 – 100 u |
輸入數字 | 2x, 24 V |
輸入模擬 | 1x ± 10 V / 12 Bit |
連接 | 0° |
連接法蘭(入口) | DN 40 CF-F |
重量 | 3.2 千克 |
陰極 | 鎢 |