MX63/MX63L半導體\FPD 檢查顯微鏡

       MX63和MX63L顯微鏡系統特別適合尺寸高達300毫米的晶圓、平板顯示器、電路板、以及其他大尺寸樣品的高質量檢測。其采用的模塊化設計可讓您根據需要選擇組件，獲得根據應用定制的系統。結合奧林巴斯Stream圖像分析軟件使用時，從觀察到生成報告的整個檢測流程更簡潔直觀。
1、*的分析工具
       MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠對樣品進行可靠的缺陷檢測。全新照明技術以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存檔檢測結果提供更多選擇。
2、從不可見到可見：MIX觀察與圖像采集
       通過將暗場與明場、熒光或偏光等其他觀察方法結合使用，MIX觀察技術能夠獲得特殊的觀察圖像。MIX觀察技術可讓用戶發現用傳統顯微鏡難以觀察的缺陷。暗場觀察所用的環形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，有助于觀察樣品的表面紋理。

3、輕松生成全景圖像: 即時MIA
      利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動手動載物臺上的XY旋鈕即可輕松快速完成圖像拼接—電動載物臺無需進行該操作。奧林巴斯Stream軟件利用模式識別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場。

4、生成全聚焦圖像: EFI
      奧林巴斯Stream軟件的擴展聚焦成像(EFI)功能可采集高度超出景深范圍的樣品圖像。EFI將這些圖像堆疊在一起生成單幅全聚焦樣品圖像。EFI配合手動或電動Z軸載物臺使用，可輕松生成結構可視化的高度圖像。EFI圖像可在奧林巴斯Stream桌面軟件內離線生成。

5、利用HDR采集明亮區域和暗光區域
      利用*的圖像處理技術，高動態范圍(HDR)可在圖像內調整亮度差異，以減少眩光。HDR改善了數字圖像的視覺品質，從而有助于生成具有專業級外觀的報告。

6、從基本測量到上等分析
      測量對于品質、工藝控制和檢測非常重要。基于這一想法，即便是入門級奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測量功能的全部菜單，并且所有測量結果與圖像文件一起保存以便日后調用文檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點擊按鈕，圖像分析任務即可快速精準完成。可大幅度縮減重復性任務的處理時間，使操作人員的精力集中在檢測工作上。

7、高效的報告創建
      創建報告所用的時間常常比采集圖像和測量還長。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報告創建功能，能夠根據預先設定的模板多次創建專業復雜的報告。編輯非常簡單，報告可導出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林巴斯Stream報告功能能夠對采集的圖像進行數碼變焦和倍率放大。報告文件大小適中，通過電子郵件進行數據傳遞更加方便。

8、獨立相機選項
      利用DP22或DP27顯微鏡相機的MX63系列是一套*的獨立系統。該相機采用幾乎不占空間的緊湊型控制盒進行控制，在采集清晰圖像以及進行基本測量工作的同時讓實驗室空間得到充分利用。

9、支持潔凈室合規性的*設計
      MX63系列專為潔凈室工作而設計，并有效降低樣品污染或受損的風險。該系統采用人體工學設計，可幫助用戶在長時間使用中保持舒適。MX63系列符合SEMI S2/S8、CE和UL等多項國際規范及標準要求。
      選配晶圓搬送機 — AL120系統*
      選配的晶圓搬送機可安裝在MX63系列上，實現無需使用鑷子或工具即可安全地將硅片及化合物半導體晶圓從片盒轉移到顯微鏡載物臺上。強大的性能和可靠性能夠安全、高效地對晶圓正面和背面進行宏觀檢測，同時搬送機還可幫助提高實驗室工作效率。

MX63系統與AL120晶圓搬送機結合使用(200毫米型號)
      快速、清潔的檢測
      MX63系列可實現無污染的晶圓檢測。所有電動組件均安裝在防護結構殼內，顯微鏡鏡架、鏡筒、呼吸防護罩、及其他部件均采用防靜電處理。電動物鏡轉換器的轉速比手動物鏡轉換器更快更安全，縮短檢測間隔時間的同時讓操作人員的手始終保持在晶圓下方，避免了潛在的污染。

                                                      防靜電呼吸防護罩                                              電動物鏡轉換器  
      系統設計實現高效觀察
      利用內置離合和XY旋鈕，XY載物臺能夠實現對載物臺運動的粗調和微調。即便針對諸如300毫米晶圓這樣的大尺寸樣品，載物臺也可幫助實現高效的觀察。傾斜觀察鏡筒的擴展范圍可讓操作人員以舒適的姿態坐在顯微鏡前工作。

                                           帶有內置離合的載物臺手柄                               傾斜觀察鏡筒可確保舒適的工作姿態
      接受所有晶圓尺寸
      該系統可配合各類150–200毫米和200–300毫米晶圓托架和玻璃臺板使用。如果生產線上的晶圓尺寸發生變化，可更改載物臺或鏡架。有了MX63系列，各種載物臺均可用于檢測75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圓。

MX63 / MX63L半導體檢查顯微鏡規格：