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NE-PE05F等離子表面處理儀，該儀器采用電容式耦合輝光放電產生的等離子體對材料表面進行改性,可供等離子體表面改性和等離子體聚合之用,它由真空反應室、真空系統及真空測量設備、充氣系統及氣體流量測量設備、放電系統和射頻電源和設備電路控制系統五部分組成。
產品參數：
| 型號 | NE-PE05F等離子表面處理儀 |
| 功率 | 0-200W可調 |
| 頻率 | 射頻13.56MHz |
| 腔體材質 | 進口 316 不銹鋼 |
| 腔體容積 | 5L |
| 腔體尺寸 | Φ150×280（D）mm（圓形） |
| 有效處理范圍 | 130（W）*245(D)mm |
| 氣路數量 | 2路工藝氣體通道 |
| 真空度 | ＜30Pa |
| 外形尺寸 | 560mm(L)×550mm(W) ×530 mm(H) |
產品特點：
氣體系統動態循設計、均勻進氣提高處理的效果
13.56MHz射頻等離子發生器，離子能量和濃度適中
兩路獨立的氣路控制便于探索不同氣體配比對處理效果的影響
密封件采用真空密封緊固件，確保真空腔體氣密性高
控制系統包括自動流程控制、安全連鎖保護等功能
低溫等離子體表面處理技術在材料加工中使用越來越廣泛。它具有傳統的化學加工所不具備的優點，無需使用水和化學品，污染少，廢水處理成本低，是一種環境友好的加工方式。低溫等離子體是部分離子化的氣體，其電子溫度比離子溫度高，放電時所產生的高能量電子和低能量分子活性種能引發反應而且不會使材料由于溫度過高而破壞。通過等離子體處理可以引入大量的活性官能團使材料的性能發生變化，如：提高潤濕性、染色性、具備拒水或拒油性、改變物理或電性能、清潔材料表面等等。尤為重要的是低溫等離子體可以對材料進行大批量的加工。
