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上海伯東代理剝離成形電子束設備

參考價	￥1000000-￥10000000

具體成交價以合同協議為準

公司名稱伯東企業（上海）有限公司
品牌其他品牌
型號
所在地上海市
廠商性質代理商
更新時間2023/4/26 9:56:24
訪問次數246

產品標簽:

電子束蒸鍍設備蒸發鍍膜電子束蒸發蒸鍍系統

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公司介紹主營產品

伯東公司成立于1953 年，范圍內有一千七百名員工。伯東企業(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導體設備、電子零部件加工、銷售及相關服務工作，集團年營業額約為100億人民幣。伯東公司在國內主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設有營業據點。
上海伯東真空產品事業部秉承為廣大中國客戶提供進口真空產品、推動中國真空工藝發展、承擔企業社會責任為經營理念，已累計為超過10,000家企業提供真空服務，覆蓋工業、半導體、鍍膜、科研和分析行業。
上海伯東代理品牌包含：德國Pfeiffer 全系列真空產品、美國 KRI 離子源、美國Brooks Polycold 制冷機，美國HVA 真空閥門，美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環測試機，離子蝕刻機，真空鍍膜系統及配套真空零配件等。
上海伯東作為真空品牌**代理商，全權負責在中國地區的銷售和維修服務，* 使用原廠進口零部件以及國外受訓維修工程師；擁有*的拆解，維修，校正能力并提供24小時在線服務。

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德國 Pfeiffer 真空產品, 美國 inTEST 高低溫測試機, 美國 Ambrell 感應加熱, 美國 Polycold 冷凍機,美國 HVA 真空閥門

產品簡介在線詢價

上海伯東代理剝離成形電子束設備可以準確的控制蒸發速度, 因此薄膜厚度和均勻度皆小于 ±3％, 客制化的基板尺寸, 直徑可達 12寸晶圓, 腔體的極限真空度約為 10-8 Torr.

上海伯東代理剝離成形電子束設備產品信息

剝離成形電子束蒸鍍設備 Lift-Off E-beam Evaporation System
對于有些金屬, 我們很難使用蝕刻 Etching 方式來完成想要的電路圖案 Circuit Pattern時, 就可以采用 Lift-Off 制程來做出想要的金屬圖案. 在此過程中, 電子束蒸發于在基板表面上沉積所需的薄膜層于犧牲層與基材上, 最終在洗去犧牲層, 以得到其電路圖案.

上海伯東代理剝離成形電子束設備可以準確的控制蒸發速度, 因此薄膜厚度和均勻度皆小于 ±3％, 客制化的基板尺寸, 直徑可達 12寸晶圓, 腔體的極限真空度約為 10-8 Torr.
剝離成形電子束設備 Lift-Off E-beam
針對 Lift-Off 制程設計載臺水冷或液態氮冷卻

Lift-Off 制程步驟:

1. 準備基板
2. 犧牲薄膜層的沉積
3. 對犧牲層進行圖案化 (例如蝕刻), 以形成反向圖案
4. 沉積目標材料
5. 洗去犧牲層以及目標材料的表面
6. 最終圖案層：
①基材
②犧牲層
③目標材料

Kri 離子源

Lift-Off 制程步驟:

上海伯東剝離成形電子束設備配置和優點
客制化的基板尺寸, 直徑可達 12寸晶圓
薄膜均勻度小于±3％
水冷坩堝的多組坩鍋旋轉電子束源 (1/2/4/6坩堝)
自動鍍膜系統
具有順序操作或共沉積的多個電子束源
基板具有冷卻 (液態氮溫度低至-70°C)功能

腔體
客制化的腔體尺寸取決于基板尺寸和其應用
腔體可至 650 mm
腔體的極限真空度約為 10-8 Torr

選件
可以與傳送腔, 機械手臂和手套箱整合在一起

應用領域
Lift-Off 制程

對傳統熱蒸發技術難以實現的材料蒸發, 可采用電子束蒸發的方式來實現. 不同于傳統的輻射加熱和電阻絲加熱, 高能電子束轟擊可實現超過 3000℃ 的局域高溫, 這使得絕大部分常用材料都可以被蒸發出來, 甚至是高熔點的材料, 例如, Pt, W, Mo, Ta 以及一些氧化物, 陶瓷材料等. 上海伯東代理的電子束蒸發源可承載 1-6種不同的材料, 實現多層膜工藝; 蒸發源本身防污染設計, 使得不同材料之間的交叉污染降到盡可能低.

若您需要進一步的了解電子束蒸鍍設備詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式
上海伯東: 羅先生