株洲三氟化氮檢測儀 易成創 YCC-GS101-NF3 等離子蝕刻氣體探測器

檢測氣體：

三氟化氮NF3

檢測原理：

電化學原理

檢測方式：

在線式長期連續檢測，擴散式的檢測方式；

在線式連續檢測，通過外置氣泵，實現泵吸式的流通檢測方式（氣泵選配）；

測量范圍：

0-10ppm、20ppm、50ppm、100ppm、200ppm（可選，未列出量程可訂制）

分 辨 率：

0.01ppm（0-100ppm）、0.1ppm（100-1000ppm）、1ppm（1000ppm以上）

精 度：

≤±3%（實際濃度，更高精度要求根據傳感器性能定）

操作方式：

紅外遙控器遠、近距離操作、方便設置

重 復 性：

≤±1%

零點漂移：

≤±1%（F.S/年）

響應時間：

≤60秒（T90）

恢復時間：

≤20秒

防爆標志：

Exd II CT6 GB

防護等級：

IP66

輸出信號：

用戶可根據實際現場環境需求而定，最遠可傳輸2000米（單芯1mm2屏蔽電纜）

三線制4-20mA電流信號輸出，可連接報警控制器、PLC、DCS 等各種控制系統（標準配置）

數字信號RS-485輸出，ModBus RTU通訊協議（選配功能）

頻率信號200~1000Hz輸出（選配功能）

一組繼電器輸出（選配二組）：無源觸電容量220VAC 0.5A或5VDC 0.5A

通過無線模塊功能可以實現檢測數據的遠程傳輸和狀態報警(選配功能)；可實現以太網的接入

主體材質：

殼體：ADC12鋁合金，堅固，耐磨耐腐蝕（可選配316不銹鋼殼體）

氣室：采用高強度耐磨耐腐蝕鋁型材，堅固耐用（可選配316不銹鋼氣室）

安裝方式：

壁掛管道一體式（管道式外螺紋規格:M45X1.5mm，可選配管道轉接螺絲接頭，可焊接）

工作溫度：

-20℃～+50℃（特殊要求需定制）

相對濕度：

10%～95%RH

供電電源：

24V DC（正常工作電壓范圍12～30VDC）

功 耗：

1.5W

工作壓力：

86~106Kpa

尺　　寸：

175mm*142mm*95mm（高*寬*厚）

重 量：

約1.6Kg

執行標準：

GB15322.1-2003，GB3836.1-2010，GB3836.2-2010，GB3836.4-2010

質量保證：

質保期壹年，保修期內免費維修。