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TX400-5 自動滴膠勻膠顯影機Spin Processors
高精度自動滴膠勻膠機 旋涂儀 真空旋轉涂層機
整合多項功能：
1 自動勻膠
2 顯影
3 清洗
4 刻蝕
5 去膠
6 水烘烤
7 摻雜
1 自動勻膠
2 顯影
3 清洗
4 刻蝕
5 去膠
6 水烘烤
7 摻雜
產品簡介：主要用于液體，膠體在材料表面薄膜的形成，適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷等制版表面涂覆工藝。可在科研，教育，生產中應用。
主要特點
TX400-5自動滴膠勻膠顯影機Spin Processors ：
32位工業計算機芯片組控制。
7英寸觸摸屏顯示，設定，控制。
TX400-5自動滴膠勻膠顯影機Spin Processors
可設定存儲25個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程。
每個涂敷工藝過程可以設置100步不同的速度狀態；
運行過程可以暫停，重復啟動。
循環轉移：次數：2的16次方= 65536次。（用途：工藝過程重復部分的設定）
液晶顯示屏可以實時顯示
直觀顯示轉速時間曲線。
第N個涂敷工藝過程
所處工作段
真空吸片狀態。
設置時間；及實時運行時間。
設置速度；及實時速度狀態。
中英文兩套操作系統供選擇。
人機交互式對話，簡潔，明了。
安裝有真空度傳感器，涂敷工作過程電腦實時檢測系統真空度，
必須在安全的真空度下，電機啟動，運行。保障可靠吸片，不飛片。
：
轉速精度更高：
300 - 10000 轉/分，轉速穩定性：+ - 0.1 %
轉速10000轉/分
NPP材質工作腔，外表面潔凈光亮。美觀，方便清洗。
TX400-5自動滴膠勻膠顯影機Spin Processors
能精確滴定5種膠體或氣體。(包括膠體，顯影液，定型液，氮氣)
工作腔直徑400mm。可以旋涂基片直徑380mm圓片或 250mm*250mm方片。
(圖片)。可用丙酮擦拭。
NPP的化學穩定性優異，對大多數酸、堿、鹽、氧化劑都顯 惰 性。例如在100℃的濃磷酸、鹽酸、40%硫酸及其它們的鹽類溶液中都是穩定的。
技術參數：
單相交流電源：220V.50Hz
電機功率：150W
旋轉真空吸盤直徑：4英寸（102mm，標準配置）
可選擇配置： 基片直徑10—480mm可接受訂貨。
轉數：300 - 10000 轉/分。
整個工藝過程是一條連續的曲線。可加減速度。可重復跳轉工藝過程。
可精確滴定5種膠體，液體或是氣體。
可設定時間：1---9999秒。
可選配件
1、85升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盤
3、滴膠筒，滴膠針頭。
2、特殊真空吸盤
3、滴膠筒，滴膠針頭。
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