產品簡介
噴淋式顯影機(WH-PXY-01)是汶顥股份自主開發的具有獨立知識產權的一款產品,針對光刻工藝中的顯影過程而設計開發的,可以對5英寸以下規格的硅片進行程控式自動化顯影。該設備可替代微流控芯片制作過程中的手動顯影環節,克服了手動顯影過程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時間不可控、同規格硅片間隔顯影效果不可控,上減少操作人員人為因素導致的顯影質量問題以及硅片的損壞。
技術參數
2轉速:0~400RPM;
2液量控制:10~500mL;
2適配硅片/芯片:3寸、4寸、5寸;
2顯影時間:0~900s;
2進液速度:0~99%;
2電源輸入:AC220V±10V/50HZ;
2功率:100W;
2重量:20 kg;
2外形尺寸:410(W)* 410(D)* 350(H)mm;
2工作環境:溫度0℃-40 ℃,相對濕度<80 %;
特征圖解
特征圖解1
特征圖解2
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