“ZCS-QPM250超精密氣靜壓三軸氣浮數控平面磨床” ,采用氣靜壓砂輪電主軸,X/Y二軸高精密氣浮導軌。臺達PLC、臺達伺服電機和驅動器組成伺服驅動系統。使整機達到平面度0.5um(100mm×100mm),表面粗糙度Ra0.1um的加工精度。具體參數如下:
一、技術特點:
該磨床采用氣靜壓砂輪電主軸、X/Y二軸高精密氣浮導軌,三級精密過濾器組成超精密氣靜壓平面磨床的加工軸系。使整機達到平面度0.5um(100mm×100mm),表面粗糙度Ra0.1um的加工精度。
工作臺的左右、前后運動機構采用伺服電機驅動控制系統,具備緩沖換向功能。磨頭上下進給采用精密滾珠絲杠加臺達128萬線精密伺服電機驅動系統升降,具有快進、慢進、微進給,自動、手動功能,操作方便、靈活可靠、無振動、精度穩定、熱穩定性好、噪聲低、維護保養方便等特點。
X/Y二軸采用高精密氣靜壓(氣浮)導軌,具有高承載、高精度,高平穩性,無摩擦,磨損等性能。
氣靜壓砂輪電主軸采用臺達系列變頻控制器實現無級調速。
該磨床在氣路、水路進口處加有壓力傳感器,具有過流、過載、氣壓低于下限、以及冷卻水斷流等故障報警保護功能。并且具有和上位機通訊功能(RS-485)。
二、整機主要技術參數表