Pfeiffer 普發 ADPC 302 無菌室監控系統、環境
產品規格:
應用:
用于無菌室, 環境
產品介紹:
ADPC 302 是一款在半導體領域的用于粒子污染監測的過程內污染管理系統。
高效粒子監測
亞微米粒子會造成可能導致相當大產量損失的缺陷。即使是測量值為 0.1 μm 的最小粒子,也可能會損壞半導體芯片的結構。創新的 ADPC 302 可測量晶片傳送載體內的粒子數量(前開式晶圓傳送盒 FOUP,前開式裝運箱 FOSB)。全自動的工藝從載體表面(包括門)對粒子進行定位和計數。
得益于的晶圓,該系統可用于成批生產和研發分析。主要應用是載體特征化、清洗策略優化和清洗質量檢查。
與傳統濕法相比較(液體顆粒計數器),ADPC 的干式工藝(干式粒子計數器)顯示出了明顯的優勢。干式工藝的主要優勢在于粒子測量是自動的。它是在生產過程中集成的,因此不再需要生產周期之外的時間。有了全自動測量,該過程無需額外的操作員。測試時間只需 7分鐘,意味著 ADPC 302 的速度是傳統系統的 4 倍。可在 1 個小時內測試 8 個運輸箱。