INFICON SKY CDG025D 電容式隔膜真空計系列

    INFICON SKY CDG025D 電容式隔膜真空計系列的高精度、溫度補償型壓力計，可以在惡劣的生產加工環境中提供穩定的性能。高級數字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設定點調整。防腐蝕陶瓷傳感器具的零點穩定性出色，預計壽命可達到數百萬個加壓循環，包括突發大氣壓。的傳感器屏蔽（申請中）可防止儀表被過程污染。堅固的機械設計和數字電子元件可以改進電磁兼容性 (EMC)、長期穩定性和溫度補償。CDG025D 為開機后快速穩定以及從氣壓中快速恢復的功能樹立了新的標準。

好處

●從 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿刻度量程

●電源接通后快速穩定

●暴露于大氣壓后快速恢復

●防腐蝕陶瓷傳感器

●的長期信號穩定性

●溫度補償

●傳感器受防污染保護

●一鍵調零功能

●寬范圍電源

典型應用

●用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導體制造設備

●數據存儲和顯示器制造設備

●工業真空設備

●經濟、高度精確的壓力測量