產品分類:MKS真空計壓力計
Baratron® 薄膜電容式壓力傳感器 (工作在室溫)
622A 壓力傳感器,滿量程范圍:1 – 1000 Torr,精度:讀數值的百分之0.15
626A 壓力傳感器,滿量程范圍:0.1–1000 Torr,精度:讀數值的百分之0.15
623A 壓力傳感器 (帶繼電器觸點控制),滿量程范圍:10 – 1000 Torr,精度:讀數值的百分之0.15
722A 緊湊型壓力傳感器,滿量程范圍:1 – 2500 Torr,精度:讀數值的百分之0.5
i-Baratron® DMA 帶DeviceNet™ 通訊口的數字壓力傳感器, 滿量程范圍: 0.1 – 1000 Torr,精度:讀數值的百分之0.15。
計量單位:臺
MKSE29E壓力計傳感器
產品分類:MKS真空計壓力計
Baratron® 薄膜電容式壓力傳感器 (溫度控制在45℃)
627B/629B 壓力傳感器,滿量程范圍:0.02 – 1000 Torr,精度:讀數值的百分之0.12。
E27B/E29B Etch 專用壓力傳感器,滿量程范圍:0.02 – 100 Torr,精度:讀數值的百分之0.12。
624B 壓力傳感器 (帶繼電器觸點控制),滿量程范圍:1 – 2000 Torr,精度:讀數值的百分之0.12。
727A 緊湊型壓力傳感器,滿量程范圍:1 – 1000 Torr,精度:讀數值的百分之0.5。
627C/E27C e-Baratron® 帶以太網通訊口的壓力傳感器/ Etch專用壓力傳感器, 滿量程范圍: 0.1 – 1000 Torr,精度:讀數值的百分之0.12。
i-Baratron® DMA 帶DeviceNet™ 通訊口的數字壓力傳感器, 滿量程范圍: 0.1 – 1000 Torr,精度:讀數值的百分之0.12。
D27B/D24B 雙量程壓力傳感器/壓力傳感器 (帶繼電器觸點控制), 滿量程范圍: 1 – 1000 Torr,精度:讀數值的百分之0.12。
計量單位:臺
MPG400/MPG401冷陰極皮拉尼復合真空規
產品分類:MKS真空計壓力計
NFICON的冷陰極和皮拉尼的復合真空規 MPG400和MPG401, 測量范圍從 5x10-9毫巴至大氣壓(3.8 x10-9乇至大氣壓).將兩種測量方式組合在一個具有對數模擬輸出的小型單元內,大大地降低了安裝,設置和集成的復雜性.
MPG400冷陰極和皮拉尼的復合真空規的詳細介紹
優點:
■復合真空規—冷陰極與皮拉尼
■寬的壓強測量范圍從5X10-9毫巴至大氣壓
■無可燒毀的燈絲
■的引燃功能
■易清洗
■FPM或金屬密封的饋入件
■高壓加上時LED指示燈亮
■對數模擬輸出訊號
應用:
■高真空壓強監測
■蒸發和濺射系統的壓強測量
■一般真空測量和控制,從中至高真空范圍
PSG500 Pirani /PSG502標準真空計
產品分類:MKS真空計壓力計
簡單介紹
INFICON的 Pirani 標準真空計 PSG500 和 PSG502-S 代表封裝在堅固耐用小型管殼內的的Pirani技術.溫度補償提供快速與的真空測量并消除了對大氣壓強反應慢的問題. 堅固耐用的不銹鋼傳感單元更適用于半導體系統, 以及常規用途如前級真空管道中.
PSG500 Pirani 標準真空計
特點:
■ 占空間小
■ 任何方位安裝
■ 不銹鋼測量單元的金屬密封饋入件
■ 化的溫度補償
■ 易于集成的對數訊號輸出
■ 至10巴壓力的高過壓能力,用螺紋連接件
■ 烘烤型在法蘭處可達到250 °C
■ 易于更換的傳感單元
應用:
■ 控制高真空電離真空計
■ 前級真空壓強監測
■ 真空系統中的安全電路
■ 在中真空和粗真空范圍內的一般真空測量與控制
PCG400復合型真空計
產品分類:MKS真空計壓力計
INFICON PCG400和PCG410型復合皮拉尼與電容膜片技術用于從5X10-4至1500毫巴(3.8X10-4至1125乇)精確度和可重復的壓強測量。與對流增強型皮拉尼不同,PCG可任意方向安裝,便于靈活地添加探頭。
■任意方向安裝
■放空快速響應,縮短周期時間
■快速與可靠的讀值,無需大氣壓調節
■單一對數/線性模擬輸出訊號
■易于工藝集成
■小型結構,節省有價值的工藝空間
■自鎖
■前級壓強監測
■真空系統中的安全電路
■在中真空和粗真空范圍內一般測量與控制
■控制高真空電離真空計