高分辨率UVK3紫外曝光機

UVK3有一個自動的紫外線曝光室，可產生角度小于2°的高度準直的紫外線。使用UV LED，無需加熱或冷卻時間，并且LED燈的使用壽命超過10000小時。智能化的操作界面簡化了紫外曝光的操作過程，您只需要按照屏幕上的指示進行操作即可。UVK3紫外曝光機的分辨率為2μm，可滿足95%的微流體應用。

優勢
（1）高分辨率低至2μm
（2）高紫外線功率曝光
（3）可調的時間和功率
（4）易于使用
（5）提供軟光刻工藝的全部知識

技術支持
我們為我們供應的所有設備提供高水平的技術支持，同時也為紫外曝光前后的相關微加工步驟提供支持。除了在整個過程中幫助您提供一部分支持外，我們還可以在所有加工過程中為您提供指導。

技術規格
（1）UVK3通常適用于4英寸晶圓，但可用于較小的基板。
（2）可以使用塑料面罩粘貼在純硼硅玻璃上
（3）UVK3可與5英寸玻璃面罩配合使用，但如果需要，可添加4英寸適配器。
（4）UVK3可以以連續或脈沖的模式工作
（5）標稱功率約為50mW/cm2，可根據用途在0%到99%之間進行調整。
（6）設備內部安裝有一個紫外線計，可以隨時控制紫外燈的功率。