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小型等離子表面處理機可應用于多種材料，包括金屬、陶瓷、復合材料、塑料、聚合物和生物材料表面處理。包括材料表面清潔、表面活化、表面能改變、用于粘合和粘附的表面制備、表面化學改性，以及通過活化對聚合物和生物材料進行表面處理、接枝和表面涂層。
小型等離子表面處理機的工作原理是在真空狀態下,壓力越來越小,分子間間距越來越大,分子間力越來越小,利用射頻源產生的高壓交變電場將氧、氬、氫等工藝氣體震蕩成具有高反應活性或高能量的離子,然后與材料表面發生反應,通過等離子體表面處理，材料表面發生多種物理、化學變化，使材料表面清沽、活化，改善材料表面的親水性、枯結性，電性能等。
●產品體積小，精度高，實用，操作簡單，容易維護。
●寬泛的參數調節范圍，可以使用多種工藝氣體，實現范圍的參數選擇。
●采用優化的集成PLC工藝控制系統，特別適合研發和小批量生產領域的需求。
●內置兩路氣路，氣體流量可調，無需再搭配氣體混合儀
●軟件、操作簡易，智能化設計，避免誤操作
●采用數字顯示壓力，實時觀察腔體壓力變化情況
●中英文操作系統，觸摸屏控制，人機界面友好 電流、電壓實時監測，確保儀器穩定安全運行
●處理時長可在觸摸屏設置，等離子處理時間精確到秒（s）
●處理功率30-99%無極可調
●316不銹鋼腔體，低溫，不損傷樣品，腔體內溫度小于60°
●引線鍵合和封裝前的集成電路芯片清洗。
●用于去除碳氫化合物污染物的 TEM 和 SEM 樣品。
●等離子表面處理親水或疏水表面潤濕性。
●表面處理以提高環氧樹脂/膠水的粘合強度。
●用于光學、激光和通信的玻璃和光纖頭清潔。
●提高 MEMS 微流體器件的潤濕性。
●圖案化后的光刻膠灰化和除渣。
等離子體表面處理是利用非聚合性無機氣體，如Ar、N2、H2、O2等氣體的輝光放電產生的等離子體對材料表面進行修飾與改性的新技術。
小型等離子表面處理機原理：
小型等離子表面處理機的工作原理是在真空狀態下,壓力越來越小,分子間間距越來越大,分子間力越來越小,利用射頻源產生的高壓交變電場將氧、氬、氫等工藝氣體震蕩成具有高反應活性或高能量的離子,然后與材料表面發生反應,通過等離子體表面處理，材料表面發生多種物理、化學變化，使材料表面清沽、活化，改善材料表面的親水性、枯結性，電性能等。
小型等離子表面處理機產品特點：
●產品體積小，精度高，實用，操作簡單，容易維護。
●寬泛的參數調節范圍，可以使用多種工藝氣體，實現范圍的參數選擇。
●采用優化的集成PLC工藝控制系統，特別適合研發和小批量生產領域的需求。
●內置兩路氣路，氣體流量可調，無需再搭配氣體混合儀
●軟件、操作簡易，智能化設計，避免誤操作
●采用數字顯示壓力，實時觀察腔體壓力變化情況
●中英文操作系統，觸摸屏控制，人機界面友好 電流、電壓實時監測，確保儀器穩定安全運行
●處理時長可在觸摸屏設置，等離子處理時間精確到秒（s）
●處理功率30-99%無極可調
●316不銹鋼腔體，低溫，不損傷樣品，腔體內溫度小于60°
小型等離子表面處理機產品應用：
●引線鍵合和封裝前的集成電路芯片清洗。
●用于去除碳氫化合物污染物的 TEM 和 SEM 樣品。
●等離子表面處理親水或疏水表面潤濕性。
●表面處理以提高環氧樹脂/膠水的粘合強度。
●用于光學、激光和通信的玻璃和光纖頭清潔。
●提高 MEMS 微流體器件的潤濕性。
●圖案化后的光刻膠灰化和除渣。
等離子體表面處理是利用非聚合性無機氣體，如Ar、N2、H2、O2等氣體的輝光放電產生的等離子體對材料表面進行修飾與改性的新技術。
| 序號 | 項目 | 型號規格 | 參數 |
| 1 | 等離子發生器 | 功率 | 0-300W可調 |
| 抗輻射干擾高頻匹配器 | 自動阻抗匹配，遠程通信控制 | ||
| 頻率 | 40KHz/13.56MHz | ||
| 2 | 真空反應腔室 | 腔體材質 | 進口 316 不銹鋼，級密封 |
| 腔體容積 | 5L | ||
| 電極數量 | 1 個鍍金鋁合金專用電極+1 個不銹鋼 托盤 | ||
| 腔體直徑（圓形） | 150（W）×280（D）mm | ||
| 有效處理范圍 | 130（W）*245(D)mm | ||
| 絕緣陶瓷 | 進口高頻陶瓷 | ||
| 3 | 氣路控制 | 氣體流量控制器 | 浮子針閥流量控制器， 0-500ML |
| 氣路數量 | 2 路氣體通道，支持氧氣氬氣等 | ||
| 4 | 整機參數 | 整機功率 | 1000W |
| 外形尺寸 | 長*寬*高 ： 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H) |
