光源 | 5KW短弧燈,配平行光燈組 |
照度分布 | >85%(510×610mm) |
平行半角 | <1.5。 |
傾斜角 | <1.5。 |
工作范圍 | 250×250~510× |
定位方式 | CCD LENS×2輪廓影像處理 |
定位精度 | ±5um~±10um根據基板條件 |
電源 | 3Φ,220V/380V,50/60HZ,20KVA |
空壓量 | 0.5mpa以上, |
冷卻水 | 8~ |