INFICON Pirani 標準真空計 PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S 采用當今市場上的數字 Pirani 技術,不銹鋼傳感器單元堅固耐用,結構設計緊湊,適用于半導體系統和標準應用,例如前級真空管。
好處
√ 輕松一鍵調節 ATM 和 HV
√ 節省空間的堅固設計
√ 鋁質殼體
√ 可安裝在任何方向
√ 不銹鋼測量單元,帶金屬密封饋入裝置
√ 對數信號輸出,易于集成
√ 螺紋接頭,具有 10 bar 過壓能力
√ 250°C 可烘烤裝置
√ 鎳絲選件,適用于腐蝕性應用
√ 陶瓷饋入裝置,適用于腐蝕性的應用(PSG510 和 PSG512)
√ 可選設定點
√ 符合 RoHS 標準
典型應用
√ 高真空電離真空計控制
√ 前級真空壓力監控
√ 真空系統中的安全電路
√ 高真空和低真空范圍內的一般真空測量和控制
PSG5xx 大氣壓至中真空真空計 ZH.pdf