英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱:旋涂儀、旋涂機、甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機。
KW系列勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。
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英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱:旋涂儀、旋涂機、甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機。
KW系列勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。
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1.帶防飛片保護與報警 2.帶防進膠保護與報警 3.電機可正反轉 4.配方帶掉電保護功能 5.加速度可調 5.帶開蓋保護(KW-4C-I型) | |||||||
精度 | 指標 | ||||||
基片尺寸 | 5-150mm | ||||||
速度范圍 | 1-10000RPM/1-12000RPM(KW-4C-I型) | ||||||
轉速精度 | 1RPM | ||||||
轉速穩定度 | ±0.1% | ||||||
加速度范圍 | 1-10000RPM/S | ||||||
膠均勻性 | ±1% | ||||||
控制信號 | 指標 | ||||||
人機界面 | 4.3寸觸摸屏 | ||||||
通信接口 | 可接無線鼠標鍵盤:機器可放于手套箱內,同時客戶可在手套箱外遠程操作機器 | ||||||
旋轉方向 | 支持正反轉 | ||||||
觸控筆 | BAMBOO電阻筆(標配) | ||||||
真空泵 | AP-550V無油泵/FY油泵 | ||||||
編程模式 | 參數 | ||||||
設置數據 | 無限組數據,每組10段轉速(標配) | ||||||
每段時間 | 0-10000秒 | ||||||
存儲數據 | 無限組數據 | ||||||
電氣參數 | 指標 | ||||||
勻膠機交流供電口 | AC100-250V | ||||||
真空泵交流供電口 | AC220V(標配) AC110V(選配) | ||||||
勻膠機功率 | 200W | ||||||
真空泵功率 | 350W | ||||||
真空泵抽速 | ≥60L/MIN | ||||||
機械尺寸 | 參數 | ||||||
勻膠機體積 | 210mm(W)X220mm(D)X160mm(H) | ||||||
勻膠機重量 | 10KG | ||||||
泵重量 | 9KG | ||||||
使用環境 | 參數 | ||||||
環境溫度 | 0-40℃ | ||||||
相對濕度 | < 85% | ||||||
放置于桌面 | 可通過自帶水平儀調節機器水平 | ||||||
技術支持 | 指標 | ||||||
質保期 | 1年 |
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