SPS旋涂儀 POLOS 200用于涂布清洗漂洗/干燥
POLOS 200 高級單基板旋轉處理器,臺面模型桌面版,自動化學品分配,重型電機。它支持多種流體,
這要歸功于天然聚丙烯和聚四氟乙烯的全塑料外殼。電機模式旋轉的控制,
結合POLOS Advanced系統中多達6個自動點膠機,可實現多層薄膜的均勻沉積和光刻膠顯影。
這些功能通過全自動配方和高可重復性實現快速工藝優化。
適用于涂布、清洗、漂洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI等工藝
特性
自動化學品分配
重型電機
支持多種流體
多達 6 個自動分配器
特點
高達 260 mm 的圓形或 6“ x 6” 方形基板
材料:天然聚丙烯(高級NPP,工具體和所有接液表面)或PTFE
帶注射器支架的透明蓋,用于集中點膠
CW 和 CCW 水坑旋轉
(可拆卸)帶有可定制圖標的彩色觸摸屏
手套友好,IP52,耐化學腐蝕
無限程序存儲,用于每個步驟的食譜
USB端口
標準 1“ 排水連接
與我們的藍寶石MegPie兆聲波換能器兼容
我們還為該系列提供可選的背面沖洗蓋和氣動蓋、真空泵、分散容器和噴射噴射器!
包括
3 個可編程干式繼電器,標稱開關容量 0.5A / 125 VAC - 0.3A / 60DC
1 件式真空吸盤 A-V36-S45-NPP,適用于直徑達 ? 150mm 的基板和 1 件式碎片適配器 D-V10-S50-NPP
型號
POLOS 200
POLOS 300
POLOS 450
POLOS SPIN150i
POLOS SPIN200i
SPS旋涂儀 POLOS 200用于涂布清洗漂洗/干燥