CV測試機CV特性曲線分析儀優勢
頻率范圍寬:頻率范圍10Hz~1MHz連續頻率點可調;
高精度、大動態范圍:提供0V~3500V偏壓范圍,精度0.1%;
內置CV測試:內置自動化CV測試軟件,包含C-V(電容- 電壓),C-T(電容- 時間),C-F(電容 - 頻率)等多項測試測試功能;
兼容IV測試:同時支持擊穿特性以及漏電流特性測試;
實時曲線繪制:軟件界面直觀展示項目測試數據及曲線,便于監控;
擴展性強:系統采用模塊化設計,可根據需求靈活搭配;
CV測試機方案
普賽斯半導體功率器件C-V測試系統主要由源表、LCR 表、矩陣開關和上位機軟件組成。LCR表支持的測量頻率范圍在0.1Hz~1MHz,源表(SMU)負責提供可調直流電壓偏置,通過矩陣開關加載在待測件上。
進行C-V 測量時,通常在電容兩端施加直流偏壓,同時利用一個交流信號進行測量。一般使用的交流信號頻率在10KHz 到1MHz 之間。所加載的直流偏壓用作直流電壓掃描,掃描過程中測試待測器件待測器件的交流電壓和電流,從而計算出不同電壓下的電容值。
基本參數
典型配置
電容-電壓(C-V)測量廣泛用于測量半導體參數,尤其是MOS CAP和MOSFET結構。MOS(金屬-氧化物-半導體)結構的電容是外加電壓的函數,MOS電容隨外加電壓變化的曲線稱之為C-V曲線(簡稱C-V特性),C-V曲線測試可以方便的確定二氧化硅層厚度dox、襯底摻雜濃度N、氧化層中可動電荷面密度Q1、和固定電荷面密度Qfc等參數,CV測試機CV特性曲線分析儀認準普賽斯儀表!