NE-PE02小型等離子清洗機

小型等離子清洗機的工作原理是在真空狀態下,利用高壓交變電場將工藝腔室內的氧、氬、氨等工藝氣體震蕩形成具有高能量和高反應活性的等離子體,活性等離子體與微顆粒污染物或有機污染物發生物理轟擊或化學反應,使被清洗表面物質變成粒子和揮發性氣態物質,然后隨工作氣流經過抽真空排出,從而達到清潔、活化表面的目的。
 

小型等離子清洗機產品優勢：
 

　●小型等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，應用范圍廣。

　●觸摸屏用戶界面，可儲存多條用戶程序，全自動運行

　●不銹鋼腔體，密封性

　●可支持 13.56 MHz 射頻發生器，自動阻抗匹配調諧

　●支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體

　●對清洗樣品，沒有任何材質、外觀尺寸等要求。

　●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。

　●高效的特制電極，是產生均勻等離子體的保證。

　●特制電極和托盤結構，可保證樣品可得到全面有效的清洗。

　●由于功耗低且無需特殊處理氣體，該裝置是提高表面潤濕性和附著力的非常經濟高效的解決方案。
 

小型等離子清洗機用途：
 

　●高分子材料表面改性粘合性、親水性能提高。

　●晶圓光刻膠灰化、剝離和除渣。硅晶片的有機污染物去除

　●用于 PDMS 鍵合、載玻片、芯片實驗室和其他微流體應用的等離子處理

　●材料表面改性(金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等)。

　●材料表面有機污染物去除。

　●清潔TEM和SEM樣品，去除烴污染

　●增強環氧樹脂/膠水粘合強度

　●用于清潔光學、激光、通訊用玻璃和光纖頭

　●改善MEMS微流體器件的潤濕性

　●隱形眼鏡、科研植入物等類型科研的表面處理和激活

等離子清洗技術廣泛應用在電子行業（主要是半導體和光電工業）、橡膠、塑料、汽車及國防等領域。等離子清洗技術不可比擬的優勢在于：一、綠色、環保、無污染。