1986年由格爾德•賓寧(Gerd K.Binnig)及亨利希•羅勒(Heinrich Rohrer)在IBM位于瑞士蘇黎世的蘇黎世實驗室發明,兩位因此與厄恩斯特•魯什卡共同獲得諾貝爾物理學獎。利用量子理論中的隧道效應探測物質表面結構的儀器,利用電子在原子間的量子隧穿效應,將物質表面原子的排列狀態轉換為圖像信息的。
特點:
● 掃描隧道顯微鏡橫向0.1nm,垂直0.01nm,可擴展掃描隧道顯微鏡和掃描微電極聯用測量系統及其測量技術,實現電極表面結構-電化學性質原位同時測量;
● 具有探針-樣品體系的密閉系統,大口徑石英頂視窗和內置亮度連續可調的照明光源,便于實時監控和樣品寬光譜輻射處理。可擴展為高精度溫度控制器和冷熱一體控溫臺,無需更換臺體,即可實現樣品高低溫控制及連續變溫控制,實時原位檢測溫度對樣品性質的影響。