三維X射線顯微鏡主要由X射線源、探測器、CCD相機、樣品臺、工作臺、高速工作站、系統軟件等組成。X射線源作為CT成像中的一個主要部件,對于CT成像有著比較重要的作用,影響CT的分辨率的一個重要因素是源焦點尺寸(光斑)的大小,光斑越大X射線成像時邊界越不清晰。目前采用透射靶的技術X射線光斑遠小于反射靶的光斑,實際成像效果上,分辨率會更高,邊界更銳,有利于后續的圖像處理。
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蔡司X射線顯微鏡應用領域:1. 材料科學,如三維無損分析;2. 生命科學,如微觀結構成像;3. 地球科學,如地質、油氣、礦產、古生物等三維成像;4. 電子和半導體行業,如形貌測量及失效分析;5. 原位力學、變溫試驗;6. 衍射襯度成像,實現三維晶粒取向分析