干式螺桿真空泵

以螺桿壓縮機的工作原理為基礎，在泵腔中配置著一對同步高速反向旋轉的螺桿轉子，電機工作時，使陽轉子帶動陰轉子反向旋轉相互嚙合而不接觸，循環完成吸氣→運氣→排氣，最終使得吸氣端氣體分子密度下降、真空度上升的真空獲得設備。并能與多種真空泵相連成泵組，常用作前級泵。

目前很多螺桿真空泵均采用機械密封，且內部不均勻壓縮，多年的應用表明，其機械密封容易過熱損壞，尤其是在處理一些腐蝕性介質工況下更容易損壞，導致螺桿泵存在易損件其維修保養相對頻繁，而且價格昂貴。