MEMS可燃氣體傳感器

概述：

MEMS氣體傳感器利用MEMS工藝再SI基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料。當環境空氣中有被檢測氣體存在時傳感器電導率發生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。

參數介紹：

設備型號：JXBS-3001

測量范圍：0-10000ppm

通訊方式：模擬信號

測定參數： 可燃氣

回路電壓Vc：≤24V DC

加熱電壓VH：2.8V±0.1V AC or DC

負載電阻RL：可調

加熱電阻RH：80Ω±20Ω（室溫）

加熱功耗PH：≤80mW

敏感體表面電阻Rs：1KΩ～30KΩ

靈敏度S：≥2.0

濃度斜率α：≤0.9

溫度：20℃±2℃

濕度：55%RH±5%RH

標準測試電路：VH:2.8V±0.1V；Vc:5.0V±0.1V