概述:
MEMS氟利昂氣體傳感器是精訊暢通研發的一款利用MEMS工藝再SI基襯底上制作微熱板,所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料的氣體監測設備。具有小巧方便、易于攜帶、響應速度快、穩定性好、抗震性好等特點。當環境空氣中有被檢測氣體存在時傳感器電導率發生變化,該氣體的濃度越高,傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。
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