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•立式往復真空泵（又稱活塞式真空泵）屬于低真空獲得設備，靠活塞往復運動使泵腔（氣缸）的工作容積周期性地變化來抽氣。
•立式往復真空泵多用于真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空結晶、真空過濾等方面抽除氣體，極限真空度在2000Pa。在泵的吸氣口處若安裝冷凝器，可抽除含水蒸汽的氣體；若安裝過濾器，則可抽除含塵氣體。
泵型 | 干式螺桿真空泵 | 無油立式往復泵 |
工作原理 | 兩個轉子和外殼構成了真空腔室并實現氣體壓縮，轉子以相反的方向向內旋轉，這些氣室有規則地從泵的入口往出口側“移動”，這樣氣體就以低漩流的方式運送出去，實現工藝氣體抽氣過程 | 活塞在泵缸內做往復運動，體積大，排氣量低且不穩定，真空度低，需要加羅茨泵提高效能。 |
結構 | 螺桿真空泵由轉子、外殼、齒輪箱、水冷套等部分組成 | 往復泵由活塞環，氣缸，活塞，連桿，皮帶輪，皮帶等部分組成 |
使用特性 | 屬單段式排氣，在大氣壓下可連續運轉，排氣路徑短，不會出現反應物沉積，發生卡死現象。 | 活塞密封往復運動，反應物不易排出，易出現沉積卡死，流量不穩定。 |
真空度 | 螺桿式真空泵無論流程氣體中蒸氣含量多少，都可以保持良好的真空度（吸入工作壓力水平：大氣壓~1Torr） | 往復真空泵運轉時間長了以后易損件磨損較大，間隙也會變大，真空度逐漸降低，影響工作效率 |
極限壓力 | 單臺螺桿真空泵極限壓力：2Pa，高真空意味著提高生產效率和產品質量 | 單臺往復泵極限壓力在2200Pa，此壓力與活塞環的新舊有關；如果要實現較好的極限真空需要和羅茨泵配合使用 |
抽氣量 | 抽氣量大可達1200立方每小時的抽量，相對抽量范圍較寬，且可從大氣壓到1Torr壓力下保持大抽速 | 抽氣范圍較寬，曲線從大氣壓開始波動較大，50Torr以下時往復真空泵的抽速明顯下降 |
