產品描述:半導體材料氣體檢測
01.產品特點
● 小型·輕量
● 可以檢查非常微量的氣體泄漏
● 適合氫氣相關設備的安全防護
● 搭載的泵有自動停止功能
● 搭載[自動氣體排氣模式]功能
● 保護等級約為IP22(JIS C 0920)※安裝皮套時
02.產品用途
● 半導體工廠/石油化學工廠等
● 在使用半導體材料氣體/毒性氣體的現場進行泄漏檢測
03.產品參數
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01.產品特點
● 小型·輕量
● 可以檢查非常微量的氣體泄漏
● 適合氫氣相關設備的安全防護
● 搭載的泵有自動停止功能
● 搭載[自動氣體排氣模式]功能
● 保護等級約為IP22(JIS C 0920)※安裝皮套時
02.產品用途
● 半導體工廠/石油化學工廠等
● 在使用半導體材料氣體/毒性氣體的現場進行泄漏檢測
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