操作簡單、靈敏度高
BLS-I and BCT-400測量系統對于單晶硅或多晶硅(硅錠或硅塊)不需要進行表面鈍化就可以進行壽命測量。因為壽命測量是描述生長特征和污染缺陷靈敏度的技術,這些工具允許你評估硅生長后的質量。
性能*
非接觸方式量測真正意義上的硅塊少子壽命,符合SEMI的PV13標準;相比業界其他少子壽命測試儀BLS-I/BCT系列是性能更*的少子壽命測試儀。
多型號選擇
如果想要設備能夠測量多種的表面類型(150mm直徑到平滑的)請選BLS-1.如果是僅需要測量平滑表面,請選擇BCT-400.
BCT400/BLS-1應用
廠商品質監控常見的測量設備,擁有廣泛客戶群
?測量壽命在1-5ms(豪秒)范圍內的高純度硅
?測量沒有進行特殊表面處理的原生直拉硅
?測量多晶硅塊的壽命和俘獲濃度
?探測氧化硼缺陷,鐵污染,和表面損害
?測試直拉硅,區熔硅,多晶硅或高純冶金硅的初始原料質量