產品簡介:
兼容自感應探針和激光檢測探針的原子力顯微鏡(AFM),技術、融合。可分別單獨實現形貌成像分析、譜曲線測量等功能,廣泛應用于教育和研究領域。
儀器特點
兼容基于石英音叉的壓電自感應探針(如Akiyama探針)和激光檢測探針。
采用自感應探針可實現頻率調制模式的形貌成像和力梯度-距離曲線測量分析。
采用激光檢測探針可實現接觸和輕敲模式的形貌成像和各種譜測量分析功能。
采用高精度嵌入式測控系統,主機隔音抗震設計,抗干擾能力強。
可擴展納米加工、掃描隧道顯微鏡、靜電力顯微鏡等掃描探針顯微鏡功能。
可通過選配模塊和擴展接口增強系統功能。
主要技術參數
一鍵式快速自動進樣,行程23mm,最小步距50nm。
手動調節樣品檢測位置,調節范圍±10.0mm。
樣品尺寸的直徑20mm,厚度20mm。
標配管型掃描器,掃描范圍約為20μm×20μm×5μm。
樣品逐行掃描成像,掃描成像速率0.1-30行/秒。
一次掃描多幅圖像,圖像分辨高達1024×1024物理象素。
自感應探針采用頻率調制模式,數字化PID反饋控制的響應時間為10μs。
嵌入式測控系統采用主頻為450MHz的雙核處理器(ARM + DSP),內置數模混合結構的鎖相放大器,與上位機連接采用以太網TCP/IP通訊協議。
標準配置:
主控制器
主機底座及隔音罩
主機探頭及探針架(A型和L型)
手動樣品調節臺(調節范圍±10.0mm)
管型掃描器(掃描范圍20μm)
計算機及專用測控軟件
儀器附件
A型探針架 (上:正面;下:背面) | L型探針架 (上:正面;下:背面) |
選配模塊:
掃描隧道顯微鏡(STM)模塊,包括:掃描隧道顯微鏡的硬件與軟件、STM探針架
納米加工模塊,包括:圖形化納米加工、機械刻蝕、矢量掃描等功能
輔助觀察光學顯微鏡系統:物鏡倍數:0.7X~4.5X;總放大倍數:42-266X連續可調(14”有效顯示面積);工作距離:115mm
管型掃描器模塊:掃描范圍有8μm、20/30μm和100μm共3種規格
平面閉環掃描器:掃描范圍為30μm×30μm×9μm
導電原子力顯微鏡(C-AFM)
靜電力顯微鏡(EFM)
磁力顯微鏡(MFM)
應用領域及實驗
實驗一:原子力顯微鏡基本原理與操作,典型的應用領域為納米科技、教育培訓,包括:納米表征研究、物理演示實驗,特別是2種探針成像技術的對比性實驗。
實驗二:基于自感應探針原子力顯微鏡的形貌成像和譜測量分析,典型實驗內容包括:軟磁盤、光盤、光柵等常規樣品的、頻率調制模式的形貌成像分析、納米臺階的測量和力梯度譜曲線的測量與分析。
實驗三:基于激光檢測探針原子力顯微鏡的形貌成像和譜測量分析,典型實驗內容包括:軟磁盤、光盤、光柵等常規樣品接觸模式和輕敲模式的形貌成像分析、各種譜曲線的測量與分析。
實驗四:掃描隧道顯微鏡(STM),包括形貌成像和隧道譜。(需增配STM模塊)
實驗五:納米加工實驗,如圖形化納米刻蝕實驗。(需增配納米加工模塊)
實驗六:其它基于特殊針尖或實驗方法的原子力顯微鏡的應用領域,包括:導電原子力顯微鏡(C-AFM)、靜電力顯微鏡(EFM)、磁力顯微鏡(MFM)等。(需增配或定制相應的功能模塊)。
儀器整體照片 | 光柵形貌圖(20×20μm) | 磁盤形貌圖(3×3μm) |