● 高低溫探針臺在高溫及低溫電學性能測量
● 真空腔
● 設計合理
● 真空度穩定
● 溫控精度及機械精度高等
● 樣品臺:鍍金樣品臺
● 樣品臺尺寸:2英寸/4英寸/6英寸
● 單筒顯微鏡:放大倍數 50 倍
● 視頻成像配置: CCD成像系統,放大倍數 300 倍
● 探針臂:x/y/z 行程 40mm,精度 1μm
● 探針配置:DC/射頻探針
● 真空系統:機械泵或分子泵
● 真空度:10-3 Torr - 10-6 Torr
● 觀察窗口:100mm
● 溫度范圍:液氮制冷 77K - 570K,液氦制冷 10K - 570K,溫度可到 1000K
● 溫控精度:0.1K / 0.01K / 0.001K
● 制冷方式:液氮、液氦或制冷機系統