TS150&TS200&TS300 探針臺

● DC 直流 /（IV、CV）測試

● 低電流（100fA 級）測試

● 器件表征測試、WLR 可靠性

● 大功率 / 大電流 / 大電壓測試等

● RF 射頻測試

● 1/f 噪聲測試

● FA 失效分析測試

探針臺主體

● XY行程范圍：6 英寸 - 12 英寸

● XY行程分辨率：< 1.0 µm

樣品臺

● 樣品臺：4 英寸 - 12 英寸

● 高溫：20 - 300°C

● 大電壓大電流：3000V / 1500A

定位器

● X-Y-Z移動行程：12mm × 12mm × 12mm

● 移動精度：10um / 2um / 0.7um / 0.5um

線纜

● 同軸線 / 三同軸線

● 漏電精度：10pA / 100fA / 10fA

探針

● 針尖直徑：0.2um / 1um / 2um / 5um / 10um / 20um

● 針尖材質：鎢鋼 / 鈹銅

屏蔽系統

● EMI / RFI / 不透光屏蔽，超低噪聲，低泄漏測量功能

防震系統

● 阻尼隔振系統 / 精密氣浮隔震臺

● 平面度：< 0.05mm/m²

● 表面粗糙度：< 0.8μm