● 采用耐熱高性能高效過濾器,箱內潔凈度始終保持在100級,可在潔凈的環境下進行高溫烘烤
● 高氣密性的壓力箱構造,氧濃度到達時間短,N2 消耗量極低
● 通過磁密封保持高氣密性,并采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響
● 可實現快速升溫和降溫,升降溫速率可調節
● 標準裝備有廢液回收裝置,對氣體進行冷卻回收
● 液晶觸摸屏操作,自動/手動兩種運行模式
● 擁有門檢測開關、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電漏電保護開關等安裝裝置
● 工作溫度 360℃ 和 500℃、潔凈度100級、氧濃度低于 20ppm,主要應用于固化半導體晶圓(光刻膠 PI、PBO 固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等